[發(fā)明專利]晶體研磨機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011271608.X
• 申請(qǐng)日: 2020-11-13
• 公開（公告）號(hào): CN112264926A
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林德升;林彬彬;林景亮;林亞楨;廖志毅;丁樹權(quán)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建中策光電股份公司
• 主分類號(hào): B24B37/025
• 分類號(hào): B24B37/025;B24B37/27;B24B37/34
• 代理公司: 泉州市文華專利代理有限公司 35205
• 代理人: 陳云川

1.晶體研磨機(jī)，其特征在于：包括機(jī)架、設(shè)置在機(jī)架上的工作臺(tái)、設(shè)置在工作臺(tái)上的滑板、用于驅(qū)動(dòng)滑板在工作臺(tái)上滑動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、用于夾持待加工工件的夾具、對(duì)應(yīng)夾具設(shè)置的多個(gè)磨盤以及用于驅(qū)動(dòng)磨盤轉(zhuǎn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，夾具可拆卸地安裝在滑板上，磨盤可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在工作臺(tái)上，夾具上具有多個(gè)工位，每個(gè)工位均設(shè)有用于夾持待加工工件的安裝機(jī)構(gòu)，每個(gè)安裝機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)一個(gè)磨盤設(shè)置。

2.如權(quán)利要求1所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：所述工作臺(tái)上設(shè)有滑軌，所述滑板可滑動(dòng)地設(shè)置在滑軌上，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一電機(jī)，第一電機(jī)的輸出軸上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)塊，還包括驅(qū)動(dòng)連桿，驅(qū)動(dòng)連桿的一端鉸接在轉(zhuǎn)動(dòng)塊上且相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)塊偏心設(shè)置，另一端鉸接在滑板上。

3.如權(quán)利要求2所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：所述機(jī)架上設(shè)有支撐梁，支撐梁中設(shè)有沿豎直方向的轉(zhuǎn)套，所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與轉(zhuǎn)套傳動(dòng)連接，轉(zhuǎn)套上設(shè)有托桿，托桿以不能相對(duì)轉(zhuǎn)套轉(zhuǎn)動(dòng)且可相對(duì)轉(zhuǎn)套軸向移動(dòng)的方式安裝在轉(zhuǎn)套中，所述磨盤設(shè)置在托桿的上端。

4.如權(quán)利要求3所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：還包括設(shè)置在所述機(jī)架上的預(yù)緊螺釘，預(yù)緊螺釘上設(shè)有螺紋部和光桿部，螺紋部與光桿部之間形成限位臺(tái)，在光桿部上套設(shè)有預(yù)緊彈簧，光桿部伸入所述轉(zhuǎn)套中，預(yù)緊彈簧的一端抵頂在限位臺(tái)上，另一端設(shè)有滾珠，滾珠抵頂在所述托桿的下端。

5.如權(quán)利要求4所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二電機(jī)和可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述機(jī)架上的驅(qū)動(dòng)軸，第二電機(jī)的輸出軸通過(guò)第一傳動(dòng)皮帶與驅(qū)動(dòng)軸傳動(dòng)連接，驅(qū)動(dòng)軸通過(guò)第二傳動(dòng)皮帶與所述轉(zhuǎn)套傳動(dòng)連接。

6.如權(quán)利要求1所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：所述工作臺(tái)上設(shè)有冷卻水分流盤，冷卻水分流盤連接至水源，冷卻水分流盤上設(shè)有多個(gè)冷卻水噴頭。

7.如權(quán)利要求1所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：所述夾具包括基座、可在設(shè)定范圍轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在基座上的轉(zhuǎn)動(dòng)體以及用于安裝待加工工件的安裝機(jī)構(gòu)，轉(zhuǎn)動(dòng)體的軸向沿水平方向設(shè)置，安裝機(jī)構(gòu)包括沿豎直方向設(shè)置的芯體和套設(shè)在芯體外的夾套，在芯體的一端設(shè)有多個(gè)能夠相對(duì)夾套滑動(dòng)并能夠張開和收合的芯瓣，多個(gè)芯瓣圍成用于夾持工件的夾持空間，芯體的另一端設(shè)有限位件，限位件與夾套之間設(shè)有能夠頂壓夾套并使多個(gè)芯瓣收合以?shī)A持工件的彈性件，芯體的下端對(duì)應(yīng)所述磨盤設(shè)置。

8.如權(quán)利要求7所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：所述限位件為限位螺母，在芯體設(shè)有與限位螺母配合的螺紋，所述彈性件為頂壓彈簧，頂壓彈簧的一端抵頂在夾套上，另一端抵頂在限位螺母上，所述芯體對(duì)應(yīng)所述芯瓣的一端設(shè)有外錐面，所述夾套上對(duì)應(yīng)設(shè)有內(nèi)錐面，所述轉(zhuǎn)動(dòng)體上設(shè)有安裝孔，所述夾套穿設(shè)在安裝孔中，所述夾套的下端設(shè)有用于限位夾套向上滑動(dòng)的第一限位部，夾套的上端設(shè)有用于限制所述夾套向下滑動(dòng)的第二限位部。

9.如權(quán)利要求1所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：所述基座包括第一立板、第二立板以及連接第一立板和第二立板的連接板，第一立板和第二立板均沿豎直方向設(shè)置，連接板沿水平方向設(shè)置，所述轉(zhuǎn)動(dòng)體的兩端分別通過(guò)軸承安裝在第一立板和第二立板上，連接板上設(shè)有供所述安裝機(jī)構(gòu)穿出的通孔，還包括設(shè)置在第一立板和第二立板上的導(dǎo)桿，導(dǎo)桿沿水平方向設(shè)置，還包括可滑動(dòng)地套設(shè)在導(dǎo)桿上的限位板，限位板設(shè)置在所述第一立板與第二立板之間，在限位板上設(shè)有供所述夾套向上伸出的限位孔，限位孔具有用于限制所述夾套偏擺的第一限位壁和可供所述夾套在預(yù)定范圍內(nèi)偏擺的第二限位壁，在導(dǎo)桿上套設(shè)有可使第一限位壁抵壓在所述夾套上的抵壓彈簧，在所述基座上還設(shè)有用于使得所述夾套在導(dǎo)桿中滑動(dòng)并脫離第一限位壁的驅(qū)動(dòng)塊，所述驅(qū)動(dòng)塊通過(guò)轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述第一立板和所述第二立板之間，在所述限位板上設(shè)有第一導(dǎo)向斜面，所述驅(qū)動(dòng)塊上對(duì)應(yīng)第一導(dǎo)向斜面設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)所述限位板沿軸向移動(dòng)的第二導(dǎo)向斜面。

10.如權(quán)利要求9所述的晶體研磨機(jī)，其特征在于：所述滑板上設(shè)有用于帶動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)塊繞所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)所述限位板移動(dòng)的頂壓機(jī)構(gòu)。