[發(fā)明專利]鉑電阻溫度傳感器封裝結構及其測溫使用方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011270131.3
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN112525369A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發(fā)明（設計）人: 趙藝文;沙駿;徐寧;付新
• 申請（專利權）人: 浙江啟爾機電技術有限公司
• 主分類號: G01K7/18
• 分類號: G01K7/18;G01K1/10;G01K1/12;G01K13/02
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 林君勇

本發(fā)明公開了一種鉑電阻溫度傳感器封裝結構及其測溫使用方法，鉑電阻左端設連接塊，鉑電阻通過連接塊與外部電路相連，連接塊外側設密封鉑電阻和連接塊的密封殼體，鉑電阻被測溫外殼包覆，測溫外殼靠左外側密封設密封壓緊頭，密封壓緊頭外側和密封殼體密封連接；外殼體內側分別設進液端口、出液端口和密封固定端口，進液端口和出液端口分別連有用于實現(xiàn)液體流入或流出的流體管道或開放流體區(qū)域，進液端口和密封固定端口兩者間連通設測溫流路；出液端口相連有出液流路并與測溫流路相連通，形成適用于小尺寸流體管路的自帶液體流動流路的封裝結構，鉑電阻和測溫外殼平行設置于測溫流路內，減小液體流動對鉑電阻的沖擊和沖擊后產生的振動。

技術領域

本發(fā)明涉及一種傳感器技術領域，一種使用于流體控制系統(tǒng)中的鉑電阻溫度傳感器封裝結構及其測溫使用方法。

背景技術

在面向高精度和高復雜度的流體控制系統(tǒng)中，例如浸沒式光刻機中的浸沒液體控制系統(tǒng)中，需要對被控制流體進行溫度、壓力、流量等特性調控和檢測，以實現(xiàn)可靠穩(wěn)定高精度輸出，而通常用于高精度和高復雜度的流體控制系統(tǒng)中對流體進行溫度檢測的溫度傳感器精度往往需要優(yōu)于±0.01℃甚至±0.001℃，使用鉑電阻溫度傳感器可以獲得這樣的檢測精度。安裝溫度傳感器時，通常將溫度傳感器直接設置于液體流動管路中，使溫度傳感器與被檢測液體呈垂直或傾斜相交完成測量，但溫度傳感器一般呈細長的桿狀形狀，對于小尺寸的液體管路和流體區(qū)域往往難以安裝，且測量過程中，液體于管路中易對溫度傳感器造成沖擊或持續(xù)壓力，引起溫度傳感器損壞或產生測量偏差，而且，在高精度和高復雜度的流體控制系統(tǒng)中，污染顆粒的控制也是極為重要一環(huán)，因此，在檢測液體溫度的同時，需要避免溫度傳感器帶入或產生污染顆粒，影響供液系統(tǒng)潔凈度。

申請?zhí)枮?01710243563.7公開了一種套管式鉑電阻溫度傳感裝置。該發(fā)明專利采用非接觸式溫度測量方法，在其內部設有鉑電阻溫度傳感器，鉑電阻溫度傳感器上端通過連接引線將測得信號進行向外傳輸，鉑電阻溫度傳感器下端外側設有多個封裝層，將封裝后的鉑電阻溫度傳感器插入含有待測液體的管路內，多個封裝層通過熱傳導的形式，使得鉑電阻溫度傳感器能夠感知封裝層外側流動液體的溫度。然而多個封裝層的存在會降低鉑電阻的測量精度和響應速度；并且該發(fā)明專利與管路間的固定連接方式，使得管路內流動的液體和鉑電阻溫度傳感器兩者間的角度呈交叉位置關系，傳感器容易受到直接沖擊，影響傳感器穩(wěn)定性和使用壽命，不適用于液體流量大或流速快的溫度檢測。

申請?zhí)枮镃N201711161819.6公開了一種探頭式薄膜熱電偶溫度傳感器及其制作方法，該發(fā)明專利采用接觸式溫度測量方法，在其內部設有用于溫度測量的薄膜熱電偶和溫度補償的鉑電阻，薄膜熱電偶的測溫點直接暴露于高溫高速流場中，與流場中的流體保持接觸狀態(tài)獲得流體瞬時溫度；然而在長期使用中，薄膜熱電偶上附著的顆粒材料會隨著流體拖曳或流體腐蝕而剝離，污染了流場中流體的潔凈度，不適用于潔凈度要求高的流體設備中進行長期溫度測量。

發(fā)明內容

本發(fā)明為解決現(xiàn)有使用于流體控制系統(tǒng)中的鉑電阻溫度傳感器存在著一般是細長的桿狀外形，對于小尺寸的液體管路和流場區(qū)域往往難以安裝，安裝測量精度不夠高，容易對流動液體造成污染物風險等現(xiàn)狀而提供的一種更適用于小尺寸流體管路或流場區(qū)域的高精度溫度傳感器封裝使用，形成自帶液體流動流路封裝結構的鉑電阻溫度傳感器封裝結構及其測溫使用方法。