[發明專利]電子顯微鏡臺

在審

• 申請號: 202011268917.1
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN112820615A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: A·維舍爾
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 史婧;王瑋

一種用于電子顯微鏡的定位系統，包括：第一托架和第二托架，所述第一托架包括用于固持工件的固持器。所述第一托架聯接到一個或多個第一驅動單元，所述一個或多個第一驅動單元被配置成沿第一軸線、第二軸線和第三軸線并且沿第一傾斜軸線定位所述工件。所述第二托架容納所述一個或多個第一驅動單元，并且聯接到一個或多個第二驅動單元，所述一個或多個第二驅動單元被配置成沿第二傾斜軸線定位所述工件。

技術領域

本公開涉及用于將工件固持在束系統中的定位系統和其使用方法。

背景技術

高分辨率成像和/或裝置處理可以利用一種或多種儀器，如掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）、離子柱、激光器和/或其它束生成儀器來完成。此類儀器可能需要精確地定位工件以捕獲圖像或對期望的區域進行處理。通常，定位系統包括可以將工件（或待成像的樣本）安裝到其上的載體元件以及被布置成使載體元件移動的致動器組，如馬達。

由致動器中不準確的定位和/或振動引起的對定位的干擾可能會影響工件的成像和/或加工的質量。因此，需要用于定位工件的改進的定位系統。

發明內容

本文描述了用于與束系統一起使用的定位系統以及用于使用此類系統移動并定位工件的方法的實施例。

在代表性實施例中，定位系統可以包括第一托架和第二托架。所述第一托架可以包括用于固持工件的固持器并且可以聯接到一個或多個第一驅動單元，所述一個或多個第一驅動單元被配置成使所述工件沿第一軸線、第二軸線和第三軸線平移，并且使所述工件圍繞所述第二軸線旋轉。所述第二托架可以容納所述一個或多個第一驅動單元并且可以聯接到一個或多個旋轉驅動單元，所述一個或多個旋轉驅動單元被配置成使所述工件圍繞所述第一軸線旋轉。

在一些實施例中，所述一個或多個第一驅動單元通過一個或多個支柱構件聯接到所述第一托架。所述定位系統可以進一步包括柱，所述柱從所述第二托架延伸并且具有主體部分和尖端部分。所述第一托架可以被布置成鄰近所述尖端部分，并且所述支柱構件可以延伸穿過所述主體部分。

在一些實施例中，所述第一托架通過多個彈性支柱構件聯接到所述第二托架。所述多個彈性支柱構件可以包括第一彈性支柱構件、第二彈性支柱構件和第三彈性支柱構件，每個彈性支柱構件具有第一端部部分和第二端部部分。所述彈性支柱構件可以被布置成三角形形狀，使得每個支柱構件的所述第一端部部分聯接到所述第一托架，并且每個支柱構件的所述第二端部部分聯接到所述第二托架。

在一些實施例中，所述一個或多個第一驅動單元可以包括：被配置成沿布置在公共地方內的軸線致動的第一驅動單元、第二驅動單元和第三驅動單元，以及被配置成沿布置在與所述公共平面平行的平面中的軸線致動的第四驅動單元。在此類實施例中，所述第一驅動單元和所述第二驅動單元可以被配置成使所述工件沿所述第一軸線和所述第二軸線移動，所述第三驅動單元可以被配置成使所述工件沿所述第三軸線移動，并且所述第四驅動單元可以被配置成使所述工件圍繞所述第二軸線旋轉。

所述第一驅動單元、所述第二驅動單元、所述第三驅動單元和所述第四驅動單元可以分別通過第一彈性構件、第二彈性構件、第三彈性構件和第四彈性構件聯接到所述第一托架。在一些實施例中，所述定位系統可以進一步包括通過第五彈性構件聯接到所述第一托架的第五驅動單元。所述第五彈性構件可以包括第一部分，所述第一部分通過接頭聯接到第二部分，使得所述第五彈性構件具有L形形狀。

在另一個代表性實施例中，一種帶電粒子束系統可以包括真空室和定位系統。所述定位系統可以延伸到所述真空室中并且可以包括第一托架和第二托架。所述第一托架可以包括用于固持工件的固持器并且可以聯接到一個或多個第一驅動單元，所述一個或多個第一驅動單元被配置成使所述工件沿第一軸線、第二軸線和第三軸線平移，并且使所述工件圍繞所述第二軸線旋轉。所述第二托架可以容納所述一個或多個第一驅動單元并且可以聯接到一個或多個旋轉驅動單元，所述一個或多個旋轉驅動單元被配置成使所述工件圍繞所述第一軸線旋轉。