[發明專利]一種集成電路用單晶硅片邊緣倒角裝置

在審

• 申請號: 202011267457.0
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN112372431A
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 黃旭華;李忱鋼;王志;封懿恒;陸成軍
• 申請（專利權）人: 衡陽磬華電子技術有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/06;B24B41/02;B24B41/00;B24B47/12;B24B47/22;B24B55/12;B24B55/06;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/02;F16F15/08;F21V33/00
• 代理公司: 北京匯彩知識產權代理有限公司 11563
• 代理人: 王敬波

1.一種集成電路用單晶硅片邊緣倒角裝置，包括基座(13)，其特征在于，所述基座(13)的頂部外壁通過螺釘固定有支撐柱(16)，且支撐柱(16)的頂部外壁設置有放置板(12)，所述放置板(12)的頂部外壁設置有橡膠板(15)，所述基座(13)頂部外壁的兩側通過螺釘固定有同一個龍門架(4)，且龍門架(4)的頂部內壁通過螺釘固定有電動伸縮桿(6)，所述電動伸縮桿(6)活塞桿的一端通過螺釘固定有集塵箱(5)，且集塵箱(5)的兩側內壁均通過螺釘固定有吸塵泵(7)，所述吸塵泵(7)的輸入端套接有吸塵管，且吸塵管遠離吸塵泵(7)的一端套接有吸塵頭(9)，所述支撐柱(16)的兩側外壁均設置有水平設置的收集盤(14)。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路用單晶硅片邊緣倒角裝置，其特征在于，所述龍門架(4)的兩側內壁均開設有凹槽，且凹槽的頂部外壁設置有馬達(3)，馬達(3)的輸出軸通過聯軸器連接有絲桿(2)。

3.根據權利要求2所述的一種集成電路用單晶硅片邊緣倒角裝置，其特征在于，所述絲桿(2)的外壁套接有滑塊(1)，且滑塊(1)與凹槽的內壁形成滑動配合，滑塊(1)的一側外壁設置有倒角機構。

4.根據權利要求3所述的一種集成電路用單晶硅片邊緣倒角裝置，其特征在于，所述倒角機構包括電動推桿(21)，且電動推桿(21)活塞桿的一端設置有連接柱，連接柱的外壁鉸接有固定塊(20)，固定塊(20)的外壁開設有固定槽，固定槽的內壁設置有電動機(18)，電動機(18)的輸出軸通過聯軸器連接有倒角盤(19)。

5.根據權利要求4所述的一種集成電路用單晶硅片邊緣倒角裝置，其特征在于，所述連接柱的頂部外壁鉸接有電動推桿(21)，且電動推桿(21)活塞桿的一端鉸接有連接板(17)，連接板(17)的底端與固定塊(20)的頂部外壁相連接。

6.根據權利要求1-5任一所述的一種集成電路用單晶硅片邊緣倒角裝置，其特征在于，所述龍門架(4)頂部內壁的邊角處均通過螺釘固定有燈板，且燈板的底部外壁通過螺釘固定有燈槽，燈槽的內壁設置有照明燈(8)。