[發明專利]蒸鍍設備自動開關門控制方法、開門裝置及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 202011264184.4
• 申請日: 2020-11-12
• 公開（公告）號: CN112410731B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 廖良生;梁艦;陳曉;陳敏;武啟飛
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明涉及蒸鍍設備技術領域，尤其涉及一種蒸鍍設備自動開關門控制方法、開門裝置及蒸鍍設備。其中，所述蒸鍍設備自動開關門控制方法，包括如下步驟：向第一電控門施加一個壓向密封腔室方向的壓力F3；向密封腔室內充入惰性氣體，其中，密封腔室內的惰性氣體作用在第一電控門上的壓力F4小于F3和F1之和；當密封腔室內的惰性氣體作用在第二電控門上的壓力F5近似等于F2后，控制第二電控門開門。通過上述蒸鍍設備自動開關門控制方法，實現雙自動開關門型蒸鍍設備開門順序可控，在手套箱側有更高氣壓時，保障大氣側腔門的水氧無法進入腔體及手套箱，提高器件制備及封裝的穩定性，避免密封腔室暴露于大氣中。

技術領域

本發明涉及蒸鍍設備技術領域，尤其涉及一種蒸鍍設備自動開關門控制方法、開門裝置及蒸鍍設備。

背景技術

蒸鍍設備通常包括手套箱和密封腔室，手套箱內為高壓氮氣環境用于蒸鍍完成后續的操作，密封腔室的兩側分別設置有腔門，其中，密封腔室的一側的腔門位于手套箱內，其另一側的腔門外露于大氣中，且手套箱內的高壓氮氣的氣壓大于密封腔室外側的大氣壓。

傳統的密封腔室大都為機械開關門，需要操作者手動開門，而當操作者佩戴手套箱的手套作業時，開關門較為困難。根據市場調研和實測結果，采用機械式的腔門鎖死結構實際上存在著大氣側水氧進入腔體和手套箱側造成手套箱內水氧飆升的問題，且隨著內開腔時間的延長而不斷加重，造成對手套箱環境及后續操作可靠性的影響?，F有產品及技術不能滿足用戶需求，因此，亟待需要一種蒸鍍設備自動開關門控制方法以解決上述問題。

發明內容

本發明的第一個目的在于提供一種蒸鍍設備自動開關門控制方法，能夠實現全自動化開門，無需手動操作，提高操作便捷性，且能夠避免作業過程中密封腔室暴露于大氣中。

本發明的第二個目的在于提供一種開門裝置，用于密封腔室的開閉，能夠實現全自動化開門，無需手動操作，提高操作便捷性，且能夠避免作業過程中密封腔室暴露于大氣中。

本發明的第三個目的在于提供一種蒸鍍設備，通過應用上述開門裝置，能夠實現全自動化開門，無需手動操作，提高操作便捷性，且能夠避免作業過程中密封腔室暴露于大氣中。

為實現上述目的，提供以下技術方案：

第一方面，提供了一種蒸鍍設備自動開關門控制方法，蒸鍍設備包括手套箱、密封腔室、設置于所述密封腔室一側開口處的第一電控門和設置于所述密封腔室另一側開口處的第二電控門；

所述第一電控門處于大氣中，且大氣作用在所述第一電控門上的壓力為F1；所述第二電控門處于所述手套箱中，所述手套箱內為惰性氣體，所述手套箱內的惰性氣體作用在所述第二電控門上的壓力為F2；且所述手套箱內的惰性氣體壓強大于大氣壓強；

初始狀態下，所述第一電控門和所述第二電控門均處于關閉狀態，所述密封腔室內為真空環境，當需要打開所述第二電控門時，所述蒸鍍設備自動開關門控制方法包括如下步驟：

向所述第一電控門施加一個壓向所述密封腔室方向的壓力F3；

向所述密封腔室內充入惰性氣體，其中，所述密封腔室內的惰性氣體作用在所述第一電控門上的壓力F4小于F3和F1之和；當所述密封腔室內的惰性氣體作用在第二電控門上的壓力F5近似等于F2后，控制所述第二電控門開門。

作為所述蒸鍍設備自動開關門控制方法的可選方案，所述蒸鍍設備自動開關門控制方法還包括：當在手套箱側破真空后，停止對所述密封腔室內充氣。

作為所述蒸鍍設備自動開關門控制方法的可選方案，在步驟S3中，先使所述第二電控門沿垂直于所述密封腔室的開口所在平面的方向移動，然后使所述第二電控門沿平行于所述密封腔室的開口所在平面的方向移動，以打開所述第二電控門。

作為所述蒸鍍設備自動開關門控制方法的可選方案，所述手套箱內的惰性氣體與所述密封腔室內充入的惰性氣體相同。