[發明專利]一種鋸絲荷電吸附的金剛石線鋸切割方法

在審

• 申請號: 202011260328.9
• 申請日: 2020-11-12
• 公開（公告）號: CN112549334A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 姚春燕;許凱翔;陳冬冬;許雪峰
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D5/00;B24B27/06;B24B55/02
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

一種鋸絲荷電吸附的金剛石線鋸切割方法，包括以下步驟：(1)將所需切割的工件靠近金剛石線鋸的切割部分，的切割部分對工件進行切割；(2)噴嘴與氣泵及切削液存儲裝置連接，噴嘴向金剛石鋸絲噴出霧狀切削液；(3)金剛石鋸絲與靜電發生器連接，鋸絲上帶有電荷，在電荷的作用下噴出的切削液吸附在金剛石鋸絲上；(4)在金剛石線鋸進行往復運動切割工件的過程中，將切削液帶入到切割區域中。本發明提供了一種有效提高切割效率和工件表面質量、降低切割成本的鋸絲荷電吸附的金剛石線鋸切割方法。

技術領域

本發明屬于金剛石線鋸切割技術領域，具體涉及一種鋸絲荷電吸附的金剛石線鋸切割方法。

背景技術

傳統的澆筑式金剛石線鋸切割大尺寸硅片過程中，由于切縫狹小，冷卻切削液難以進入到切割區域的中間部位，切削產生的熱量無法及時消除從而在工件上聚集，切削熱分布不均衡，導致工件發生形變翹曲，極大影響了工件的質量。同時由于切削液難以進入，切割過程中切削液的潤滑效果減弱，對工件切割表面質量和切割效率均產生了不利影響，增加了后續研磨加工的成本。金剛石鋸絲磨損嚴重，使用壽命減少，增加了金剛石線鋸的切割成本。

為解決切削液難以進入金剛石線鋸切割的中心區域，切削熱難以及時消除這一問題。當前主要有增加切削液供給和改良切削液配方兩種方法。由于切縫的寬度是固定的，所以能夠進入切縫的切削液的數量存在一個上限，當達到一定程度后增加切削液的供給量也無法增加切削液的進入。改良切削液的方法，通過往切削液中添加納米磨粒及其他材料，以增加切削液的吸附能力和改善切削液的摩擦散熱性能。但是該方法增加了切削液的成本，同時增大了切削完成后切削液的回收處理的壓力。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本發明提供了一種有效提高切割效率和工件表面質量、降低切割成本的鋸絲荷電吸附的金剛石線鋸切割方法。

本發明的目的可通過下列技術方案來實現：

一種鋸絲荷電吸附的金剛石線鋸切割方法，包括以下步驟：

(1)將所需切割的工件靠近金剛石線鋸的切割部分，的切割部分對工件進行切割；

(2)噴嘴與氣泵及切削液存儲裝置連接，噴嘴向金剛石鋸絲噴出霧狀切削液；

(3)金剛石鋸絲與靜電發生器連接，鋸絲上帶有電荷，在電荷的作用下噴出的切削液吸附在金剛石鋸絲上；

(4)在金剛石線鋸進行往復運動切割工件的過程中，將切削液帶入到切割區域中。

優選的，所述金剛線鋸為電鍍金剛石鋸絲。導電性能良好，切割性能較好。

再進一步，所述金剛石鋸絲與切割機之間進行絕緣處理，切割機其他部分接地。

本發明中金剛石線鋸切割中采用鋸絲荷電吸附的方法，金剛石鋸絲與切割機進行絕緣處理。金剛石線鋸荷電后形成空間電場，切削液霧滴上產生感應電荷，并在電場力的作用下向金剛石鋸絲移動，吸附于金剛石鋸絲表面，并被鋸絲帶入切割區域，從而增加了進入切縫的切削液的數量，改善了切割區域的潤滑及散熱狀況，提高工件表面質量，改善工件翹曲情況，以及減小鋸絲磨損、延長鋸絲壽命。

本發明的有益效果為：有效提高切割效率和工件表面質量、降低切割成本。

附圖說明

圖1為本發明一種鋸絲荷電吸附的金剛石線鋸切割方法切割示意圖。

圖中金剛石鋸絲1，噴嘴2，氣泵3，切削液存儲裝置4，工件5，靜電發生器6，切削液7。

具體實施方式

以下是本發明的具體實施例并結合附圖，對本發明的技術方案作進一步的描述，但本發明并不限于這些實施例。

參照圖1，一種鋸絲荷電吸附的金剛石線鋸切割方法，包括以下步驟：