[發(fā)明專利]激光加工裝置以及相位圖案的調整方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202011259115.4
• 申請日: 2020-11-12
• 公開（公告）號: CN112809165A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設計）人: 野村哲平;植木篤
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/70;B23K26/364;B23K37/04;H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

1.一種激光加工裝置，其具有：

卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；

激光束照射單元，其向該卡盤工作臺所保持的被加工物照射激光束；以及

控制單元，

該激光束照射單元包含：

激光振蕩器，其振蕩出激光；

聚光透鏡，其對從該激光振蕩器射出的激光束進行聚光；

凹面鏡，其被定位成在該聚光透鏡的聚光點處具有焦點，并且該凹面鏡的反射該激光束的反射面為球面；

分束器，其使從該激光振蕩器射出的激光束通向該聚光透鏡，并且對被該聚光透鏡聚光并被該凹面鏡的反射面反射的反射光進行分支；以及

波面測定單元，其接收被該凹面鏡的反射面反射并由該分束器分支的該反射光，取得作為該激光束的相位的空間分布的波面數(shù)據(jù)，

該控制單元根據(jù)該波面測定單元所測定出的波面數(shù)據(jù)，變更配設于該激光振蕩器與該聚光透鏡之間的空間光調制器的顯示部所顯示的相位圖案。

2.根據(jù)權利要求1所述的激光加工裝置，其中，

該凹面鏡配設于該卡盤工作臺的周緣部。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的激光加工裝置，其中，

該控制單元還包含：

計算部，其對該波面測定單元所測定出的作為該激光束的相位的空間分布的波面數(shù)據(jù)進行澤尼克多項式近似，從而計算澤尼克系數(shù)；

相位圖案生成部，其生成具有規(guī)定的澤尼克系數(shù)的相位圖案并使該相位圖案顯示在該空間光調制器的顯示部上；以及

存儲部，其預先存儲輸入到該相位圖案中的澤尼克系數(shù)與在該空間光調制器的顯示部上顯示有被輸入了該澤尼克系數(shù)的相位圖案時由該波面測定單元測定的激光束的澤尼克系數(shù)之間的相關關系，

該相位圖案生成部根據(jù)存儲在該存儲部中的相關關系的表，對輸入到該顯示部所顯示的相位圖案中的澤尼克系數(shù)進行逆運算，以使該波面測定單元所測定的激光束的澤尼克系數(shù)為期望的值。

4.根據(jù)權利要求1或2所述的激光加工裝置，其中，

該控制單元還包含：

計算部，其對該波面測定單元所測定出的作為該激光束的相位的空間分布的波面數(shù)據(jù)進行澤尼克多項式近似，從而計算澤尼克系數(shù)；

相位圖案生成部，其生成具有規(guī)定的澤尼克系數(shù)的相位圖案并使該相位圖案顯示在該空間光調制器的顯示部上；

變更部，其變更由該波面測定單元取得的該波面數(shù)據(jù)的多個澤尼克系數(shù)中的任意一個澤尼克系數(shù)；以及

判定部，其判定該波面測定單元所測定的波面數(shù)據(jù)是否接近理想的波面數(shù)據(jù)，

該激光振蕩器持續(xù)地射出激光束，并且交替地重復進行該變更部變更任意一個澤尼克系數(shù)的動作以及該相位圖案生成部將具有變更后的澤尼克系數(shù)的相位圖案顯示在該空間光調制器的該顯示部上的動作，直到所述判定部判定為該波面測定單元所測定的波面數(shù)據(jù)接近理想的波面數(shù)據(jù)。