[發明專利]一種集成光收發器

有效

• 申請號: 202011254630.3
• 申請日: 2020-11-11
• 公開（公告）號: CN112383358B
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發明（設計）人: 馮大增;王奕瓊;梁虹;武愛民
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: H04B10/40
• 分類號: H04B10/40;H04B10/572;G01K13/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

本發明涉及半導體技術領域，本發明公開了一種集成光收發器，該集成光收發器包括集成連接的濾波件、交織濾波器和溫度傳感器；該濾波件用于實現不同波長的光的合波或者分波；該溫度傳感器用于監測該集成光收發器的溫度；該濾波件與該交織濾波器波導連接，該交織濾波器用于接收該溫度傳感器監測的溫度，當該溫度小于預設溫度時，調整波長偏離的光的波長于原波長的位置，從而本申請提供的集成光收發器具有成本高、尺寸小和性能好的特點。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，特別涉及一種集成光收發器。

背景技術

隨著人們對信息傳輸、處理速度要求的不斷提高和多核計算時代的來臨，基于金屬的電互連將會由于過熱、延遲、電子干擾等缺陷成為發展瓶頸。而采用光互連來取代電互連，可以有效解決這一難題。在光互連的具體實施方案中，硅基光互連以其無可比擬的成本和技術優勢成為首選。硅基光互連既能發揮光互連速度快、帶寬大、抗干擾、功耗低等優點，又能充分利用微電子標準互補金屬氧化物半導體(Complementary Metal OxideSemiconductor，CMOS)工藝成熟、高密度集成、高成品率、成本低廉等優勢，其發展必將推動新一代高性能計算機、數據通信系統的發展，有著廣闊的市場應用前景。

硅基光互連的核心技術是在硅基SOI(siliconon insulator)硅光波導的工藝基礎上實現各種光電功能的器件，如集成光接收器件(receiver)：包括硅光波導(WG，waveguide)、多路復用器(MUX)、多路分解器(DEMUX)、探測器(PD，photodetector)等元器件組成。

現有CWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexing，粗波分復用，信道間距20nm)接收器產品的技術方案是基于薄膜或非熱敏氧化硅AWG(Arrayed WaveguideGrating)和光探測器(或光探測器陣列)封裝在一起。這樣的方案成本高，尺寸大，性能差。

發明內容

本發明要解決的是現有技術中光接收器件成本高、尺寸大和性能差的技術問題。

為解決上述技術問題，本申請公開了一種集成光收發器，其包括集成連接的濾波件、交織濾波器和溫度傳感器；

該濾波件用于實現不同波長的光的合波或者分波；

該溫度傳感器用于監測該集成光收發器的溫度；

該濾波件與該交織濾波器波導連接，該交織濾波器用于接收該溫度傳感器監測的溫度，當該溫度小于預設溫度時，調整波長偏離的光的波長于原波長的位置。

可選地，還包括第一光模轉換器和探測器；

該濾波件為解復用器；

該第一光模轉換器的輸入端與光纖連接；

該第一光模轉換器的輸出端與該交織濾波器的輸入端波導連接；

該交織濾波器的輸出端與該濾波件的輸入端波導連接；

該濾波件的輸出端與探測器波導連接。

可選地，該溫度傳感器位于該交織濾波器與該濾波件之間的區域。

可選地，該濾波件的數量為至少兩個；

該探測器的數量為至少兩個。

可選地，該濾波件的信道間距大于該交織濾波器的信道間距。

可選地，還包括激光器、調制器和第二光模轉換器；

該濾波件為復用器；

該激光器的輸出端與該調制器的輸入端波導連接；

該調制器的輸出端與該濾波件的輸入端波導連接；