[發(fā)明專利]一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011251005.3
• 申請日: 2020-11-11
• 公開（公告）號: CN112327503B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬淵;熊恒;周國威;吳鵬;謝可迪;孟潔;黃敏捷;侯霞
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號: G02B27/62
• 分類號: G02B27/62;G02B7/198;G02B7/182
• 代理公司: 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括支撐座(1)、第一驅(qū)動器(2)、第二驅(qū)動器(3)、第三驅(qū)動器(4)、第四驅(qū)動器(5)、第一剛性桿(6)、第二剛性桿(7)、第一柔性鉸鏈(8)、第二柔性鉸鏈(9)、第三柔性鉸鏈(10)、第四柔性鉸鏈(11)、柔性片(12)、轉(zhuǎn)接板(13)和反射鏡(14)；

所述的支撐座(1)呈凸臺型，由下至上分別為第一平面和第二平面；

所述的第一驅(qū)動器(2)和第三驅(qū)動器(4)分別通過螺釘對稱固定在支撐座(1)的第一平面上，所述的第二驅(qū)動器(3)和第四驅(qū)動器(5)分別通過螺釘對稱固定在支撐座(1)的第二平面上；

所述的第一剛性桿(6)和第二剛性桿(7)分別通過剛性桿的螺紋端與第一驅(qū)動器(2)和第三驅(qū)動器(4)固定，第一剛性桿(6)和第二剛性桿(7)的另一端分別通過螺紋與第一柔性鉸鏈(8)和第三柔性鉸鏈(10)柔性鉸鏈固定；

所述的第二驅(qū)動器(3)、第四驅(qū)動器(5)分別通過螺紋與第二柔性鉸鏈(9)和第四柔性鉸鏈(11)固定；

所述的柔性片(12)的中心通過螺釘和所述的支撐座(1)連接；

所述的轉(zhuǎn)接板(13)的周緣的四個通孔通過螺母與所述的第一柔性鉸鏈(8)、第二柔性鉸鏈(9)、第三柔性鉸鏈(10)、第四柔性鉸鏈(11)相連，所述的反射鏡(14)通過螺釘和轉(zhuǎn)接板(13)與柔性片(12)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的驅(qū)動器(2、3、4、5)通過三個壓電陶瓷(114、115、116)堆疊粘接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的剛性桿(6、7)采用的是一端伸出端為螺紋桿、另一端為螺紋孔的結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的柔性鉸鏈(8、9、10、11)的兩端為螺紋桿，中間為0.8mm細(xì)桿。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的柔性片(12)的厚度為0.2mm，材料為鈹青銅。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的反射鏡(14)為金屬鏡，材料為鋁合金，反射面為橢圓形。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的反射鏡(14)截面為工字型結(jié)構(gòu)，設(shè)有4個對稱分布的螺紋孔作為機(jī)械接口。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的一種光路指向精密調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述的第一驅(qū)動器(2)、第二驅(qū)動器(3)、第三驅(qū)動器(4)和第四驅(qū)動器(5)均由菱形殼體(111)、第一墊片(112)、第二墊片(113)、第一壓電陶瓷(114)、第二壓電陶瓷(115)和第三壓電陶瓷(116)組成。