[發明專利]一種輻射粒子探測器器件結構在審
| 申請號： | 202011242677.8 | 申請日： | 2020-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN112366246A | 公開（公告）日： | 2021-02-12 |
| 發明（設計）人： | 廖永波;彭辰曦;李平;聶瑞宏;李垚森;馮軻;楊智堯;劉金銘;劉仰猛;劉玉婷;徐璐;曾祥和;胡兆晞;唐瑞楓;林凡;鄒佳瑞 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L31/115 | 分類號： | H01L31/115;H01L31/103;H01L31/0352;H01L27/144 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 輻射 粒子 探測器 器件 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種輻射粒子探測器器件結構如圖1，在襯底表面設置有1、2兩個n型重摻雜區，在1、2區域之上設置有3、4兩個金屬電極，在襯底表面設置有若干個5區域代表的STI區，在5區與1區、5區與2區、5區與5區之間設置有6區域代表的n型溝道區。區域7為p型襯底。
2.如權利1要求所述的一種輻射粒子探測器器件結構，其特征在于，
所述區域1、2為n型硅；
所述區域3、4為金屬電極；
所述區域5為STI氧化層，材質為SiO2；
所述區域6為n型硅；
所述區域7為p型硅。
3.如權利1要求所述的一種輻射粒子探測器器件結構，其特征在于，
所述區域6被區域5所隔斷。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
