[發明專利]一種刻蝕機的載片裝置

在審

• 申請號: 202011240165.8
• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN114464518A
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發明（設計）人: 吳峰;唐建成
• 申請（專利權）人: 無錫芯漢電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

1.一種刻蝕機的載片裝置，包括裝載箱(1)，其特征在于：所述裝載箱(1)頂部鉸接有密封蓋(2)，所述裝載箱(1)一側開設有送料口(3)，所述裝載箱(1)內部設有承載板(4)，所述承載板(4)與裝載箱(1)滑動連接，所述承載板(4)頂部設有片盤存放機構，所述承載板(4)底部設有傳動機構；

所述片盤存放機構包括限位框(5)，所述限位框(5)設在承載板(4)頂部，所述限位框(5)與承載板(4)固定連接，所述承載板(4)頂部設有存儲盒(6)，所述存儲盒(6)設在限位框(5)內部，所述存儲盒(6)與限位框(5)相匹配，所述存儲盒(6)內部設有多個等距分布的托架(7)，所述托架(7)與存儲盒(6)固定連接，所述存儲盒(6)的開口與送料口(3)相對應；

所述傳動機構包括固定箱(8)，所述固定箱(8)設在裝載箱(1)底部，所述固定箱(8)與裝載箱(1)固定連接，所述固定箱(8)內部設有支撐筒(9)，所述支撐筒(9)頂端貫穿裝載箱(1)并延伸至承載板(4)底部，所述支撐筒(9)與裝載箱(1)滑動連接，所述支撐筒(9)與承載板(4)固定連接，所述支撐筒(9)內部固定連接有滑塊(10)，所述支撐筒(9)底部設有絲桿(11)，所述絲桿(11)貫穿滑塊(10)并延伸入支撐筒(9)內部，所述絲桿(11)與滑塊(10)螺紋連接，所述絲桿(11)底端固定連接有支撐盤(12)，所述支撐盤(12)底部設有伺服電機(13)，所述伺服電機(13)與固定箱(8)內壁固定連接，所述伺服電機(13)輸出軸與支撐盤(12)傳動連接，所述支撐盤(12)底部設有支撐架(14)，所述支撐架(14)與支撐盤(12)通過軸承轉動連接。

2.根據權利要求1所述的一種刻蝕機的載片裝置，其特征在于：所述承載板(4)底部四角均固定連接有滑桿(15)，所述滑桿(15)貫穿裝載箱(1)并與裝載箱(1)滑動連接。

3.根據權利要求1所述的一種刻蝕機的載片裝置，其特征在于：所述裝載箱(1)頂部設有兩個把手(16)，兩個把手(16)均與裝載箱(1)鉸接，兩個把手(16)關于裝載箱(1)橫向中心軸線呈軸對稱分布。

4.根據權利要求3所述的一種刻蝕機的載片裝置，其特征在于：兩個把手(16)相鄰的一側分別設有卡槽(17)和卡塊(18)，所述卡槽(17)與卡塊(18)相匹配。

5.根據權利要求1所述的一種刻蝕機的載片裝置，其特征在于：所述存儲盒(6)一側設有限位桿(19)，所述限位桿(19)截面形狀設置為匚字形，所述存儲盒(6)靠近限位桿(19)一側設有第一限位槽(20)，所述第一限位槽(20)與限位桿(19)相匹配，所述第一限位槽(20)內部和存儲盒(6)頂部均設有固定連接有圓桿(21)，兩個圓桿(21)分別貫穿限位桿(19)兩端并與限位桿(19)活動連接。

6.根據權利要求5所述的一種刻蝕機的載片裝置，其特征在于：所述存儲盒(6)頂部的圓桿(21)頂端固定連接有固定塊(22)，所述固定塊(22)設在限位桿(19)頂部，所述固定塊(22)與限位桿(19)之間設有彈簧。

7.根據權利要求5所述的一種刻蝕機的載片裝置，其特征在于：所述存儲盒(6)底部開設有第二限位槽(23)，所述第二限位槽(23)與第一限位槽(20)相連通，所述第二限位槽(23)內部設有推塊(24)，所述推塊(24)與第二限位槽(23)滑動連接，所述推塊(24)與承載板(4)固定連接。