[發明專利]一種立式蒸發濺射一體化設備的測量載具

有效

• 申請號: 202011240095.6
• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN112501580B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 劉林;王寶玉;邵倩;徐根保;王昌華
• 申請（專利權）人: 凱盛光伏材料有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54;C23C14/34;C23C14/24;H01L21/66
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

1.一種立式蒸發濺射一體化設備的測量載具，包括基礎框架，所述的基礎框架由頂部框架板、側面框架板和底部框架板構成，頂部框架板與底部框架板之間安裝有中間封板，中間封板與側面框架板之間安裝有均熱板，頂部框架板頂部安裝有頂部導軌，底部框架板底部安裝有底部導軌，其特征在于：

中間封板上安裝有縱向長齒條，縱向長齒條兩側分布有兩列相互對稱的硅片安裝槽，所述的硅片安裝槽位于中間封板上；縱向長齒條靠近頂部框架板的1/3處與二級齒輪嚙合，二級齒輪與一級齒輪嚙合，一級齒輪與橫向短齒條嚙合，橫向短齒條安裝在測量載具通過的狹縫腔的腔壁上，一級齒輪通過一級齒輪軸安裝在中間封板上，二級齒輪通過二級齒輪軸安裝在中間封板上；中間封板上還通過擋板齒輪軸安裝有兩列擋板齒輪，擋板齒輪軸上還固定連接有硅片鍍膜擋板，所述的擋板齒輪軸位于硅片安裝槽與縱向長齒條之間，擋板齒輪與縱向長齒條嚙合。

2.根據權利要求l所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具，其特征在于：一級齒輪采用棘齒結構。

3.根據權利要求2所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具，其特征在于：一級齒輪的齒數與二級齒輪的齒數比為1：2。

4.根據權利要求l所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具，其特征在于：橫向短齒條的長度是當硅片鍍膜擋板旋轉180度后，橫向短齒條正好與一級齒輪自動脫離。

5.根據權利要求l所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具，其特征在于：硅片鍍膜擋板為1mm厚的不銹鋼板。

6.根據權利要求l所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具，其特征在于：中間封板上還固定有擋板導引定位條，所述的擋板導引定位條位于硅片安裝槽遠離縱向長齒條的一側，硅片鍍膜擋板在旋轉時通過擋板導引定位條導引定位。

7.根據權利要求6所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具，其特征在于：擋板導引定位條采用斜坡式結構，入口大、內部小。