[發明專利]一種立式蒸發濺射一體化設備的測量載具有效
| 申請號: | 202011240095.6 | 申請日: | 2020-11-09 |
| 公開(公告)號: | CN112501580B | 公開(公告)日: | 2023-06-02 |
| 發明(設計)人: | 劉林;王寶玉;邵倩;徐根保;王昌華 | 申請(專利權)人: | 凱盛光伏材料有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/56 | 分類號: | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/34;C23C14/24;H01L21/66 |
| 代理公司: | 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102 | 代理人: | 王琪 |
| 地址: | 233010 *** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 立式 蒸發 濺射 一體化 設備 測量 | ||
1.一種立式蒸發濺射一體化設備的測量載具,包括基礎框架,所述的基礎框架由頂部框架板、側面框架板和底部框架板構成,頂部框架板與底部框架板之間安裝有中間封板,中間封板與側面框架板之間安裝有均熱板,頂部框架板頂部安裝有頂部導軌,底部框架板底部安裝有底部導軌,其特征在于:
中間封板上安裝有縱向長齒條,縱向長齒條兩側分布有兩列相互對稱的硅片安裝槽,所述的硅片安裝槽位于中間封板上;縱向長齒條靠近頂部框架板的1/3處與二級齒輪嚙合,二級齒輪與一級齒輪嚙合,一級齒輪與橫向短齒條嚙合,橫向短齒條安裝在測量載具通過的狹縫腔的腔壁上,一級齒輪通過一級齒輪軸安裝在中間封板上,二級齒輪通過二級齒輪軸安裝在中間封板上;中間封板上還通過擋板齒輪軸安裝有兩列擋板齒輪,擋板齒輪軸上還固定連接有硅片鍍膜擋板,所述的擋板齒輪軸位于硅片安裝槽與縱向長齒條之間,擋板齒輪與縱向長齒條嚙合。
2.根據權利要求l所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具,其特征在于:一級齒輪采用棘齒結構。
3.根據權利要求2所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具,其特征在于:一級齒輪的齒數與二級齒輪的齒數比為1:2。
4.根據權利要求l所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具,其特征在于:橫向短齒條的長度是當硅片鍍膜擋板旋轉180度后,橫向短齒條正好與一級齒輪自動脫離。
5.根據權利要求l所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具,其特征在于:硅片鍍膜擋板為1mm厚的不銹鋼板。
6.根據權利要求l所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具,其特征在于:中間封板上還固定有擋板導引定位條,所述的擋板導引定位條位于硅片安裝槽遠離縱向長齒條的一側,硅片鍍膜擋板在旋轉時通過擋板導引定位條導引定位。
7.根據權利要求6所述的立式蒸發濺射一體化設備的測量載具,其特征在于:擋板導引定位條采用斜坡式結構,入口大、內部小。
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