[發(fā)明專利]一種立式蒸發(fā)濺射一體化設(shè)備的測(cè)量載具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011240095.6 | 申請(qǐng)日: | 2020-11-09 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112501580B | 公開(公告)日: | 2023-06-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉林;王寶玉;邵倩;徐根保;王昌華 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 凱盛光伏材料有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C14/56 | 分類號(hào): | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/34;C23C14/24;H01L21/66 |
| 代理公司: | 蚌埠鼎力專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 34102 | 代理人: | 王琪 |
| 地址: | 233010 *** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 立式 蒸發(fā) 濺射 一體化 設(shè)備 測(cè)量 | ||
1.一種立式蒸發(fā)濺射一體化設(shè)備的測(cè)量載具,包括基礎(chǔ)框架,所述的基礎(chǔ)框架由頂部框架板、側(cè)面框架板和底部框架板構(gòu)成,頂部框架板與底部框架板之間安裝有中間封板,中間封板與側(cè)面框架板之間安裝有均熱板,頂部框架板頂部安裝有頂部導(dǎo)軌,底部框架板底部安裝有底部導(dǎo)軌,其特征在于:
中間封板上安裝有縱向長齒條,縱向長齒條兩側(cè)分布有兩列相互對(duì)稱的硅片安裝槽,所述的硅片安裝槽位于中間封板上;縱向長齒條靠近頂部框架板的1/3處與二級(jí)齒輪嚙合,二級(jí)齒輪與一級(jí)齒輪嚙合,一級(jí)齒輪與橫向短齒條嚙合,橫向短齒條安裝在測(cè)量載具通過的狹縫腔的腔壁上,一級(jí)齒輪通過一級(jí)齒輪軸安裝在中間封板上,二級(jí)齒輪通過二級(jí)齒輪軸安裝在中間封板上;中間封板上還通過擋板齒輪軸安裝有兩列擋板齒輪,擋板齒輪軸上還固定連接有硅片鍍膜擋板,所述的擋板齒輪軸位于硅片安裝槽與縱向長齒條之間,擋板齒輪與縱向長齒條嚙合。
2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的立式蒸發(fā)濺射一體化設(shè)備的測(cè)量載具,其特征在于:一級(jí)齒輪采用棘齒結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的立式蒸發(fā)濺射一體化設(shè)備的測(cè)量載具,其特征在于:一級(jí)齒輪的齒數(shù)與二級(jí)齒輪的齒數(shù)比為1:2。
4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的立式蒸發(fā)濺射一體化設(shè)備的測(cè)量載具,其特征在于:橫向短齒條的長度是當(dāng)硅片鍍膜擋板旋轉(zhuǎn)180度后,橫向短齒條正好與一級(jí)齒輪自動(dòng)脫離。
5.根據(jù)權(quán)利要求l所述的立式蒸發(fā)濺射一體化設(shè)備的測(cè)量載具,其特征在于:硅片鍍膜擋板為1mm厚的不銹鋼板。
6.根據(jù)權(quán)利要求l所述的立式蒸發(fā)濺射一體化設(shè)備的測(cè)量載具,其特征在于:中間封板上還固定有擋板導(dǎo)引定位條,所述的擋板導(dǎo)引定位條位于硅片安裝槽遠(yuǎn)離縱向長齒條的一側(cè),硅片鍍膜擋板在旋轉(zhuǎn)時(shí)通過擋板導(dǎo)引定位條導(dǎo)引定位。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的立式蒸發(fā)濺射一體化設(shè)備的測(cè)量載具,其特征在于:擋板導(dǎo)引定位條采用斜坡式結(jié)構(gòu),入口大、內(nèi)部小。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





