[發明專利]一種新型的掃描電子顯微鏡

有效

• 申請號: 202011239638.2
• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN112349570B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發明（設計）人: 屠浩奇;梁榮
• 申請（專利權）人: 寧波工程學院
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28
• 代理公司: 浙江億創果專利代理有限公司 33339
• 代理人: 許靜

本發明公開了一種掃描電子顯微鏡，包括機架，所述機架內設置有試樣板，所述試樣板的頂端安裝有掃描發生器，所述掃描發生器的一端設置有隔板，所述機架的外側設置有真空管，所述機架的頂端安裝有連接座，所述連接座上設置有鏡筒，所述鏡筒內設置有電子槍，所述機架內設置有支架。本發明在機架的內部設置有護罩，且通過護罩與物鏡光閘的連接，可實現樣品室內部的試樣板上的樣品的檢測，進一步的增加掃描過程中的精準度，方便檢測過程中的精度，從而更好的進行解析物品，在機架內部設置有隔板，且通過隔板可實現機架內部部分空間的隔絕，針對于試樣板上進行全面的抽空，方便檢測過程中的精度，防止外物的干擾，影響精度的問題。

技術領域

本發明涉及掃描電子顯微鏡技術領域，具體是一種新型的掃描電子顯微鏡。

背景技術

傳統的光學系統對物體進行觀測具有操作簡單、方便的特點，且樣品的制備簡單，不需要高真空等嚴格的觀測條件，因此常用于對物體進行快速顯微觀測。由于傳統的光學系統分辨率低，在對物體進行高分辨率的探測時受到限制。在觀察微觀物體方面，掃描電子顯微鏡以其分辨率高，景深大等特點受到廣泛應用。

由于傳統的掃描電子顯微鏡觀測物體細微信息時，需要很高的放大倍數，因此，視場范圍較小，對待測位置定位困難。通常，需要借助大視場條件下獲得的圖像來定位樣品待測位置。而掃描電子顯微鏡在大視場探測時，視場邊緣位置產生的畸變很大，不能真實反映樣品的表面形貌，因此，通過大視場下獲得的掃描電子顯微鏡圖像來定位樣品待測位置時，往往定位不準確。光學系統的分辨率最高為200nm，大視場觀測時光學系統的畸變遠小于掃描電子顯微鏡產生的畸變，因此，利用光學系統與掃描電子顯微鏡的結合使用來對物體進行探測：先使用光學系統尋找目標位置，再使用掃描電子顯微鏡進行更高分辨率的觀測，該方法是解決這一問題行之有效的方法。

目前階段的帶掃描功能的電子顯微鏡存在諸多的不足之處，例如，調節能力較差、防護不好以及在機架內部的真空箱內封閉性不足的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種新型的掃描電子顯微鏡，以解決現有技術中的調節能力較差、防護不好以及在機架內部的真空箱內封閉性不足的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種新型的掃描電子顯微鏡，包括機架，所述機架內設置有試樣板，所述試樣板的頂端安裝有掃描發生器，所述掃描發生器的一端設置有隔板，所述機架的外側設置有真空管，所述機架的頂端安裝有連接座，所述連接座上設置有鏡筒，所述鏡筒內設置有電子槍，所述機架內設置有支架，所述機架底端安裝有減震支撐腿，所述減震支撐腿由上腳墊、橡膠柱和下腳墊組成，所述橡膠柱位于上腳墊和下腳墊之間，且橡膠柱中心處開設有通孔。

優選的，所述鏡筒內設置有光閘架，所述光閘架的底端安裝有聚光鏡，且聚光鏡位于鏡筒內的兩端位置。

優選的，所述機架內設置有物鏡光閘，所述物鏡光閘的兩端安裝有連接架，且連接架與機架固定連接。

優選的，所述機架上設置有樣品室，所述樣品室的外側安裝有固定架。

優選的，所述樣品室上設置有翻板，所述樣品室的一端安裝有密封槽。

優選的，所述物鏡光閘的底端安裝有護罩，且護罩位于機架內的中間位置。

優選的，所述物鏡光閘上設置有放大器，且放大器位于物鏡光閘的外側位置。

優選的，其使用方法包括以下步驟：

S1：通過鏡筒頂端的電子槍進行電子束的發射，通過鏡筒內部的光閘架進行連接光閘的位置，實現電子束的傳播；

S2：通過鏡筒內部的聚光鏡進行電子束的聚集，通過連接座進行固定鏡筒的底端位置，通過機架一端的真空管實現機架內部的隔板內側的真空抽取，通過物鏡光閘實現電子束的穿透，進而對試樣板上的樣品進行掃描解析；