[發明專利]一種加速度計

在審

• 申請號: 202011238916.2
• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN112345795A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 李興冀;楊劍群;關恩昊;邢朝洋;呂鋼;董尚利
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 北京隆源天恒知識產權代理事務所(普通合伙) 11473
• 代理人: 鞠永帥

1.一種加速度計，其特征在于，包括：上基板(10)和敏感層(20)，所述上基板(10)包括襯底(11)和介質層(12)，所述介質層(12)設置在所述襯底(11)上且靠近所述敏感層(20)，所述介質層(12)與所述敏感層(20)之間設置有間隔層(13)，所述間隔層(13)的厚度大于所述介質層(12)的厚度，小于所述敏感層(20)的厚度。

2.根據權利要求1所述的加速度計，其特征在于，所述間隔層(13)的厚度為非等厚度。

3.根據權利要求2所述的加速度計，其特征在于，所述間隔層(13)中間區域的厚度大于兩側區域的厚度。

4.根據權利要求3所述的加速度計，其特征在于，由所述間隔層(13)中間區域往兩側區域的方向，所述間隔層(13)的厚度逐漸減小。

5.根據權利要求3或4所述的加速度計，其特征在于，所述間隔層(13)的中間區域的長度大于兩側區域的長度。

6.根據權利要求1所述的加速度計，其特征在于，所述間隔層(13)的厚度大于或等于10微米。

7.根據權利要求1所述的加速度計，其特征在于，所述介質層(12)包括在所述襯底(11)上層疊設置的第一氧化物層(121)、第一金屬層(122)和第二氧化物層(123)，所述第一氧化物層(121)的厚度大于所述第二氧化物層(123)的厚度。

8.根據權利要求7所述的加速度計，其特征在于，所述第一氧化物層(121)的厚度為2微米，所述第二氧化物層(123)的厚度為0.6微米。

9.根據權利要求7所述的加速度計，其特征在于，所述介質層(12)還包括第二金屬層(124)，所述第二金屬層(124)部分覆蓋所述第二氧化物層(123)。

10.根據權利要求7或8所述的加速度計，其特征在于，所述第二氧化物層(123)上設置有通孔結構，所述通孔結構連通所述敏感層(20)與所述第一金屬層(122)。