[發(fā)明專利]晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測系統(tǒng)及檢測方法

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• 申請日: 2020-11-09
• 公開（公告）號: CN112097656A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒亞輝;徐鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;H01L21/66
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;陳麗寧

1.一種晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：

晶圓承載結(jié)構(gòu)，包括基座和可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置于所述基座上的承載臺；

圖像獲取結(jié)構(gòu)，用于在所述承載臺帶動晶圓以預(yù)設(shè)速度旋轉(zhuǎn)一周的過程中，以預(yù)設(shè)頻率獲得多個晶圓邊緣的圖像；

第一圖像處理結(jié)構(gòu)，包括第一圖像處理單元和第二圖像處理單元，所述第一圖像處理單元用于對所述圖像獲取結(jié)構(gòu)獲取的圖像進(jìn)行二值化處理，以獲取每個所述晶圓邊緣的圖像中背封薄膜邊緣的第一位置信息和晶圓邊緣的第二位置信息，所述第二圖像處理單元用于根據(jù)所述第一位置信息和所述第二位置信息，獲得背封薄膜邊緣的去除寬度；

第二圖像處理結(jié)構(gòu)，根據(jù)所述去除寬度是否位于預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，判斷背封薄膜邊緣去除是否符合標(biāo)準(zhǔn)，若所述去除寬度位于所述預(yù)設(shè)范圍之外，則判斷背封薄膜邊緣去除不符合標(biāo)準(zhǔn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)設(shè)頻率為圖像獲取的頻率：在晶圓旋轉(zhuǎn)過程中，每隔預(yù)設(shè)旋轉(zhuǎn)角度，所述圖像獲取結(jié)構(gòu)獲取一次晶圓邊緣的圖像，所述預(yù)設(shè)旋轉(zhuǎn)角度小于或等于5度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像獲取結(jié)構(gòu)包括CCD相機(jī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第一位置信息包括所述背封薄膜邊緣的第一點與晶圓圓心之間的第一距離，所述第二位置信息包括晶圓邊緣的第二點與晶圓圓心之間的第二距離，所述第一點和所述第二點之間的連線的延長線經(jīng)過晶圓圓心，所述去除寬度為所述第一距離和所述第二距離的差值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第二圖像處理結(jié)構(gòu)包括第一處理單元、第二處理單元和第三處理單元；

所述第一處理單元用于設(shè)定晶圓邊緣的起始位置，并生成去除寬度與晶圓旋轉(zhuǎn)角度之間的關(guān)系示意圖；

所述第二處理單元用于在所述關(guān)系示意圖中，添加與所述預(yù)設(shè)范圍對應(yīng)的預(yù)設(shè)區(qū)間值；

所述第三處理單元用于根據(jù)所述關(guān)系示意圖中的所述去除寬度是否位于所述預(yù)設(shè)區(qū)間值內(nèi)，判斷背封薄膜邊緣去除是否符合標(biāo)準(zhǔn)，若所述去除寬度位于所述預(yù)設(shè)區(qū)間值之外，則判斷背封薄膜邊緣去除不符合標(biāo)準(zhǔn)，若所述去除寬度位于所述預(yù)設(shè)區(qū)間值之內(nèi)，則判斷背封薄膜邊緣去除符合標(biāo)準(zhǔn)，并以去除寬度的平均值作為背封薄膜邊緣的實際所需去除寬度值。

6.一種晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測方法，應(yīng)用于權(quán)利要求1-5任一項所述的晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：

將晶圓放置于所述承載臺上，晶圓在所述承載臺帶動下以預(yù)設(shè)速度轉(zhuǎn)動；

在所述承載臺帶動晶圓以預(yù)設(shè)速度旋轉(zhuǎn)一周的過程中，以預(yù)設(shè)頻率獲得多個晶圓邊緣的圖像；

對所述圖像獲取結(jié)構(gòu)獲取的晶圓邊緣的圖像進(jìn)行二值化處理，以獲取每個所述晶圓邊緣的圖像中背封薄膜邊緣的第一位置信息和晶圓邊緣的第二位置信息；

根據(jù)所述第一位置信息和所述第二位置信息，獲得背封薄膜邊緣的去除寬度；

根據(jù)所述去除寬度是否位于預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，判斷背封薄膜邊緣去除是否符合標(biāo)準(zhǔn)，若所述去除寬度位于所述預(yù)設(shè)范圍之外，則判斷背封薄膜邊緣去除不符合標(biāo)準(zhǔn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測方法，其特征在于，所述第一位置信息包括所述背封薄膜邊緣的第一點與晶圓圓心之間的第一距離，所述第二位置信息包括晶圓邊緣的第二點與晶圓圓心之間的第二距離，所述第一點和所述第二點之間的連線的延長線經(jīng)過晶圓圓心，所述去除寬度為所述第一距離和所述第二距離的差值。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓背封薄膜邊緣去除寬度的檢測方法，其特征在于，根據(jù)所述去除寬度是否位于預(yù)設(shè)范圍內(nèi)判斷背封薄膜邊緣去除是否符合標(biāo)準(zhǔn)，若所述去除寬度位于所述預(yù)設(shè)范圍之外，則判斷背封薄膜邊緣去除不符合標(biāo)準(zhǔn)，具體包括：

設(shè)定晶圓邊緣的起始位置，并生成去除寬度與晶圓旋轉(zhuǎn)角度之間的關(guān)系示意圖；

在所述關(guān)系示意圖中添加與所述預(yù)設(shè)范圍對應(yīng)的預(yù)設(shè)區(qū)間值；

根據(jù)所述關(guān)系示意圖中的所述去除寬度是否位于所述預(yù)設(shè)區(qū)間值內(nèi)判斷背封薄膜邊緣去除是否符合標(biāo)準(zhǔn)，若所述去除寬度位于所述預(yù)設(shè)區(qū)間值之外，則判斷背封薄膜邊緣去除不符合標(biāo)準(zhǔn)，若所述去除寬度位于所述預(yù)設(shè)區(qū)間值之內(nèi)，則判斷背封薄膜邊緣去除符合標(biāo)準(zhǔn)，并以去除寬度的平均值作為背封薄膜邊緣的實際所需去除寬度值。