[發(fā)明專利]制造光感測(cè)裝置和具有平面內(nèi)及出平面運(yùn)動(dòng)的裝置的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011233798.6
• 申請(qǐng)日: 2020-11-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112781726A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許郁文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 躍旺創(chuàng)新股份有限公司
• 主分類號(hào): G01J1/42
• 分類號(hào): G01J1/42;G01J1/04;B81B7/04
• 代理公司: 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 劉鳳香

本發(fā)明提供一種制造具有平面內(nèi)及出平面運(yùn)動(dòng)的一裝置的方法，該方法包括：提供一平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，用于相對(duì)于一參考平面以三個(gè)自由度移動(dòng)安裝于其上的一應(yīng)用組件；以及提供一出平面運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，于其上承載該平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，且該出平面運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器具有一底部板以及設(shè)置于該底部板上的一單軸致動(dòng)器，其中該單軸致動(dòng)器具有一致動(dòng)端，以及該致動(dòng)端賦能該應(yīng)用組件相對(duì)于該參考平面以不同于該三個(gè)自由度的第四個(gè)自由度移動(dòng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)涉及一種制造光感測(cè)裝置的方法。更具體地，本公開(kāi)涉及一種制造具有平面內(nèi)及出平面運(yùn)動(dòng)的裝置的方法。

背景技術(shù)

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS，Microelectromechanical System)致動(dòng)器具有許多優(yōu)點(diǎn)，例如小尺寸，低成本，精確的運(yùn)動(dòng)控制和低功率消耗，這使其適用于小巧型電子設(shè)備或系統(tǒng)中的應(yīng)用。然而，對(duì)于MEMS致動(dòng)器而言，實(shí)現(xiàn)具有6個(gè)自由度(DOF)的運(yùn)動(dòng)是非常困難的，特別是當(dāng)需要具有行程精度變得更小于約0.5mm的自動(dòng)對(duì)焦裝置時(shí)。因此，本發(fā)明公開(kāi)了一種使用MEMS致動(dòng)器的裝置及其組裝方法以利用來(lái)實(shí)現(xiàn)具有6自由度的長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)的硅驅(qū)動(dòng)器的解決方案及其在光感測(cè)裝置中的應(yīng)用。

另外，照相機(jī)中的光學(xué)影像穩(wěn)定(OIS)的設(shè)計(jì)僅提供了二維的減振，即垂直(或z-)方向(上下)和水平(或x-)方向(左右)。問(wèn)題是，無(wú)法提供照相機(jī)中鏡頭在軸向(或y-)(向前和向后)的減振效果，更不用說(shuō)在傾斜(包含偏航(yaw)、俯仰(pitch)和滾轉(zhuǎn)(roll)) 方向上的減振。

此外，諸如具有光學(xué)影像穩(wěn)定、自動(dòng)對(duì)焦和高分辨率功能的照相機(jī)的光感測(cè)裝置需要大的空間來(lái)容納大的光學(xué)和機(jī)械系統(tǒng)。這樣給用戶帶來(lái)攜帶和操作這種大相機(jī)的不便。

因此，本申請(qǐng)人已經(jīng)公開(kāi)了一種光感測(cè)裝置及用于制造光感測(cè)裝置的方法，以改善上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，并且提供了一種具有一體且小巧的設(shè)計(jì)的光感測(cè)裝置，該光感測(cè)裝置適合于全方向減振、自動(dòng)對(duì)焦、和高分辨率應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)之一目的在于提供一種光感測(cè)裝置的制造方法，該方法包括：提供一平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，包括以下子步驟：提供一傳感器，其配置以感測(cè)一光；提供一電路板，其具有包含一中央空腔及一第一底部基部、及設(shè)置于該第一底部基部上的一電路板框，其中該第一底部基部具有一第一底部表面；設(shè)置一引線框于該中央空腔內(nèi)，該引線框具有一第二底部表面及四個(gè)軟性彈簧；以及于該引線框上安裝一平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)致動(dòng)器，該平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)致動(dòng)器具有一可動(dòng)內(nèi)框及一固定外框；以及提供一出平面運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，包含以下子步驟：提供一基部板，其具有一基部板表面及設(shè)置于該基部板表面的一周圍上的一基部板框，該基部板平面具有一法線方向；以及于該基部板平面上設(shè)置四個(gè)單軸致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)器，該四個(gè)單軸致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)器的每一個(gè)具有一單軸致動(dòng)器，各該單軸致動(dòng)器具有一致動(dòng)端，且該每一個(gè)單軸致動(dòng)器沿平行于該法線方向的一方向移動(dòng)該分別的致動(dòng)端，以及將該第一底部表面附著于該基部板框，且將該第二底部表面設(shè)置于該四個(gè)致動(dòng)端之上。

本申請(qǐng)之另一目的在于提供一種制造具有平面內(nèi)及出平面運(yùn)動(dòng)的一裝置的方法，該方法包括：提供一平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，用于相對(duì)于一參考平面以三個(gè)自由度移動(dòng)安裝于其上的一應(yīng)用組件：提供一出平面運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，于其上承載該平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，且該出平面運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器具有一底部板以及設(shè)置于該底部板上的一第一單軸致動(dòng)器，其中：該第一單軸致動(dòng)器具有一第一致動(dòng)端，以及該第一致動(dòng)端賦能該應(yīng)用組件相對(duì)于該參考平面以不同于該三個(gè)自由度的第四個(gè)自由度移動(dòng)。

附圖說(shuō)明

本發(fā)明的上述目的及優(yōu)點(diǎn)在參閱以下詳細(xì)說(shuō)明及附隨圖式之后對(duì)那些所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者將變得更立即地顯而易見(jiàn)。

圖1是顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的光感測(cè)裝置的示意性分解圖。

圖2是顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的示意圖。

圖3是顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)致動(dòng)器的示意圖。

圖4是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的微機(jī)電致動(dòng)器的俯視圖。