[發明專利]一種銦錫合金靶材的制備方法在審
| 申請號： | 202011233264.3 | 申請日： | 2020-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN114525482A | 公開（公告）日： | 2022-05-24 |
| 發明（設計）人： | 黃永香 | 申請（專利權）人： | 湖南七點鐘文化科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;B22F1/14;B22F1/052;B22F3/14;B22F3/24;C22C28/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李偉 |
| 地址： | 410300 湖南省湘潭*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合金 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種銦錫合金靶材的制備方法，包括以下步驟：
A)將銦粉和錫粉置于真空滾動混料機中混合，得到混合物；
B)將所述混合物采用滾動加熱熔煉工藝制備銦錫合金靶材生坯，將所述銦錫合金靶材生坯進行熱壓燒結，得到銦錫合金靶材粗品；
C)將所述銦錫合金靶材粗品進行退火，得到銦錫合金靶材。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中，所述銦粉和所述錫粉的質量比為(6～8)：(2～4)，所述銦粉的費氏平均粒度為1～7μm，所述錫粉的費氏平均粒度為1～7μm。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述銦粉和所述錫粉的質量比為8:2。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中，所述真空滾動混料機的轉速為50～80r/min，壓力為2*10°Pa。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟B)中，所述滾動加熱熔煉工藝的轉速為20～100r/min。
6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟B)中，所述熱壓燒結的壓力為1～10MPa，溫度為200～250℃，時間為2～3h。
7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟C)中，所述退火的溫度為100～150℃，時間為1～2h。
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