[發(fā)明專利]鋅基大電阻薄膜鍍膜液、其制備方法與鋅基大電阻薄膜的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011233257.3 | 申請日： | 2020-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN114437394A | 公開（公告）日： | 2022-05-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃永香 | 申請（專利權(quán)）人： | 湖南七點(diǎn)鐘文化科技有限公司 |
| 主分類號： | C08J7/06 | 分類號： | C08J7/06;C09D1/00;C09D7/65;C09D7/43;C22C28/00;C22C18/04;G06F3/041;G06F3/044;C03C17/10;C08L67/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 李偉 |
| 地址： | 410300 湖南省湘潭*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鋅基大 電阻 薄膜 鍍膜 制備 方法 | ||
1.一種鋅基大電阻薄膜鍍膜液，由鋅基合金、水、分散劑、增稠劑和乙醇制備得到。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋅基大電阻薄膜鍍膜液，其特征在于，所述鋅基合金的含量為10～15重量份，所述水的含量為37～59重量份，所述分散劑的含量為8～12重量份，所述增稠劑的含量為3～6重量份，所述乙醇的含量為20～30重量份。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋅基大電阻薄膜鍍膜液，其特征在于，所述鋅基合金包括60～99wt％的鋅和1～40wt％的其他金屬，所述其他金屬選自鋁；所述分散劑選自乙烯-醋酸乙烯共聚物和聚乙烯蠟中的一種或兩種；所述增稠劑選自聚丙烯酰胺；所述水為超純水，電導(dǎo)率＞8M兆歐。
4.權(quán)利要求1所述的鋅基大電阻薄膜鍍膜液的制備方法，包括以下步驟：
將水、乙醇和分散劑混合后再加入鋅基合金，然后加入增稠劑，攪拌，得到鋅基大電阻薄膜鍍膜液。
5.一種鋅基大電阻薄膜的制備方法，包括以下步驟：
A)將襯底基板進(jìn)行清洗；
B)將步驟A)得到的襯底基板固定在工作臺(tái)表面，在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上放置若干鍍膜液；所述鍍膜液為配比不同的權(quán)利要求1～3任一項(xiàng)所述的鋅基大電阻薄膜鍍膜液或權(quán)利要求4所述的制備方法所制備的鋅基大電阻薄膜鍍膜液；
C)將步驟B)得到的襯底基板進(jìn)入步驟B)中其一鍍膜液中提拉鍍膜，然后旋轉(zhuǎn)臺(tái)將下一鍍膜液自動(dòng)旋轉(zhuǎn)至襯底基板正下方提拉鍍膜，重復(fù)多次，風(fēng)干后真空干燥，得到鋅基大電阻薄膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，在提拉鍍膜的過程中，單次提拉鍍膜的速度為1～5000μm/s，單次提拉鍍膜的浸漬時(shí)間為1～1200s，鍍膜液的溫度為19～23℃，鍍膜次數(shù)為1～20次。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述真空干燥的過程具體為：
以5℃/min升至90～120℃保持1～2h，再將溫度升至200～300℃保持30～60min干燥后自然冷卻至室溫，真空度為0.02～0.1Pa，氣體氛圍為10～30sccm的氧氣和/或100～200sccm的氮?dú)狻?/p>
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，風(fēng)干后的膜層的厚度為50～200μm，干燥后的薄膜厚度為10～1000nm。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述鋅基大電阻薄膜為ZnO：Al薄膜、ZnN：AlN薄膜或Zn3N2薄膜。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述襯底基板在工作臺(tái)表面采用真空吸附的方式固定；所述真空吸附的真空壓力為0.5～1Pa。
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