[發明專利]一種用于旋轉器件型光譜橢偏儀系統的電機光譜儀同步方法

有效

• 申請號: 202011232895.3
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112345462B
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 張傳維;史玉托;李偉奇;陳軍;郭春付
• 申請（專利權）人: 武漢頤光科技有限公司
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21
• 代理公司: 武漢藍寶石專利代理事務所(特殊普通合伙) 42242
• 代理人: 高蘭

1.一種用于旋轉器件型光譜橢偏儀系統的電機光譜儀同步方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，設置光譜儀積分時間為t以及采集幀數為n*N₁,進行光譜采集并保存；n為單個周期所需采集幀數，N₁為采集周期數；

S2，從中提取所有周期內所有幀數在波長點λ₂的光譜數據，并繪制光譜曲線圖，得到包含有N₁條光譜曲線的第一曲線圖，并計算第一曲線圖中光譜曲線線寬D；所述在波長點λ₂的光譜數據的特征為該波長點在不同周期內的變化趨勢為上下震動；

S3，對所述光譜儀積分時間t進行調制，并重復步驟S1和步驟S2，繪制光譜曲線圖，若無論增加或減小積分時間，調制后的光譜曲線圖中光譜曲線線寬均大于調制前的光譜曲線線寬D，則光譜儀積分時間t即為最佳積分時間，此時電機與光譜儀同步；

所述光譜曲線線寬表示光譜曲線圖中不同曲線在相同波長點下同一幀數點的差值的最大值。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述的步驟S3包括：

持續增大或減小光譜儀積分時間，使得調整后的光譜曲線圖中光譜曲線線寬逐漸減小，若調整后的光譜曲線圖中光譜曲線線寬大于調整前的光譜曲線圖中光譜曲線線寬，則認為調整前的光譜曲線圖對應的光譜儀積分時間為最佳積分時間，此時電機與光譜儀同步。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述的步驟S3包括：

S31，調整光譜儀積分時間為t₁，t₁t，重復步驟1和步驟2，得到第二曲線圖,并計算第二曲線圖中光譜曲線線寬D₁；

S32，調整光譜儀積分時間為t₂，t₂t，重復步驟1和步驟2，得到第三曲線圖，并計算第三曲線圖中光譜曲線線寬D₂；

S33，若D₁DD₂，則需進一步減小光譜儀積分時間，若D₁DD₂，則需進一步增大光譜儀積分時間；直至曲線圖i+1中光譜曲線線寬D_i+1大于曲線圖i中光譜曲線線寬D_i，則曲線圖i對應的積分時間即為最佳時間，此時電機與光譜儀同步。