[發明專利]一種聲波器件及濾波設備在審
| 申請號： | 202011231055.5 | 申請日： | 2020-11-06 |
| 公開（公告）號： | CN114448377A | 公開（公告）日： | 2022-05-06 |
| 發明（設計）人： | 彭波華;胡念楚;賈斌 | 申請（專利權）人： | 開元通信技術（廈門）有限公司;麥姆斯通信技術（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王曉坤 |
| 地址： | 361026 福建省廈門市海滄區中國（福建）自由貿易*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 聲波 器件 濾波 設備 | ||
1.一種聲波器件，其特征在于，包括：
由下至上依次層疊的襯底、下電極層、壓電層、上電極層，其中，所述襯底對應所述上電極層的區域分布有空氣腔；
所述上電極層的引出部形成有第一空氣橋，所述上電極層的邊緣和內部形成有第一懸臂梁，且位于內部的所述第一懸臂梁設置有貫穿厚度的通孔；或者所述空氣腔的數量為多個；或者所述上電極層具有沿水平方向分布的凹部。
2.如權利要求1所述的聲波器件，其特征在于，當所述空氣腔的數量為多個時，還包括：
位于所述上電極層的邊緣的第二懸臂梁，和位于所述上電極層的所述引出部的第二空氣橋。
3.如權利要求1所述的聲波器件，其特征在于，當所述第一懸臂梁設置有貫穿厚度的通孔時，所述通孔的數量為多個。
4.如權利要求3所述的聲波器件，其特征在于，所述通孔延伸至所述下電極層的下表面。
5.如權利要求3所述的聲波器件，其特征在于，所述通孔延伸至所述壓電層的下表面。
6.如權利要求1至5任一項所述的聲波器件，其特征在于，還包括：
位于所述上電極層上表面的保護層；
相應的，當所述第一懸臂梁設置有貫穿厚度的通孔時，所述通孔延伸至所述保護層的上表面。
7.如權利要求6所述的聲波器件，其特征在于，所述保護層的材料為下述任一種或者任意組合：
摻雜有預設元素或者未摻雜的氮化鋁、氧化鋅、鈮酸鋰、鉭酸鋰，所述預設元素包括稀土元素和堿土元素。
8.如權利要求7所述的聲波器件，其特征在于，所述空氣腔的形狀為不規則多邊形，且任意兩條邊不平行、任意兩個角的角度不相等。
9.如權利要求8所述的聲波器件，其特征在于，所述上電極層的材料為下述任一種或者任意組合：
鋁、鉬、銅、金、鉑、銀、鎳、鉻、鎢、鈦。
10.一種濾波設備，其特征在于，所述濾波設備包括至少一個如權利要求1至9任一項所述的聲波器件。
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