[發明專利]清洗光阻劑管道的控制方法、裝置及計算機可讀存儲介質有效
| 申請號： | 202011228527.1 | 申請日： | 2020-11-05 |
| 公開（公告）號： | CN112329900B | 公開（公告）日： | 2022-01-07 |
| 發明（設計）人： | 潘柏松;葉利丹 | 申請（專利權）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分類號： | G06K17/00 | 分類號： | G06K17/00;B08B9/027 |
| 代理公司： | 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287 | 代理人： | 關向蘭 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區石巖街道水田村民*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清洗 光阻劑 管道 控制 方法 裝置 計算機 可讀 存儲 介質 | ||
【權利要求書】：
1.一種清洗光阻劑管道的控制方法，其特征在于，所述清洗光阻劑管道的控制方法包括：
檢測到光阻劑的上料信息時，獲取所述上料信息中的文本信息，所述文本信息包括光阻劑組成成分，所述上料信息通過在所述光阻劑的載體檢測得到，其中，所述獲取所述上料信息中的文本信息包括獲取所述載體的圖像信息，獲取所述圖像信息上的文本信息；
識別所述文本信息對應的第一物料編碼；
將所述第一物料編碼作為第一標識信息；
獲取上一次使用的光阻劑的第二標識信息，所述第二標識信息包括第二物料編碼；
在所述第一標識信息與所述第二標識信息不匹配時，清洗光阻劑管道；
在清洗完成后，輸出光阻劑上料的提示信息，并將待上料的光阻劑的載體調度到上料位置；
若所述第一標識信息與所述第二標識信息匹配，生成無需清洗所述光阻劑管道的提示信息，并將待上料的光阻劑的載體調度到上料位置。
2.一種清洗光阻劑管道的控制裝置，其特征在于，所述清洗光阻劑管道的控制裝置包括：清洗裝置、存儲器、處理器及存儲在所述存儲器上并可在處理器上運行的計算機程序，所述處理器執行所述計算機程序時實現如權利要求1所述的清洗光阻劑管道的控制方法的步驟。
3.一種計算機可讀存儲介質，其特征在于，所述計算機可讀存儲介質上存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執行時實現如權利要求1所述的清洗光阻劑管道的控制方法的步驟。
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