[發(fā)明專利]一種減振裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011228100.1
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112392892B
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發(fā)明（設計）人: 朱長江;潘庶亨
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: F16F7/00
• 分類號: F16F7/00;F04B39/00
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 許峰

本發(fā)明涉及一種減振裝置，包括：四通管；四個波紋管，其分別連接至四通管的四端，不相對的第一波紋管和第二波紋管遠離四通管的端部均為開口端，第三波紋管和第四波紋管遠離四通管的端部均為封閉端；第一減振支架一端轉動連接至第一波紋管的開口端且另一端可相對于第三波紋管擺動地連接至第三波紋管的封閉端，第二減振支架一端連接至第二波紋管的開口端且另一端可相對于第四波紋管擺動地連接至第四波紋管的封閉端；第一波紋管和第二波紋管的開口端分別連接第一裝置和第二裝置，以首先經(jīng)由第一波紋管、第一減振支架和第三波紋管減輕從第一裝置傳遞至四通管的振動，再經(jīng)由第四波紋管、第二振動支架和第二波紋管減輕從四通管傳遞至第二裝置的振動。

技術領域

本發(fā)明涉及超精測量技術領域，尤其涉及一種減振裝置。

背景技術

隨著科學技術的發(fā)展，越來越多的科學實驗如超精測量需要在真空環(huán)境下進行以保證精度，其通常利用處于真空環(huán)境下的測量裝置如掃描隧道顯微鏡或電子顯微鏡等對工件進行測量和分析。為了提供真空環(huán)境，一般將測量裝置放置在腔體中，并通過與該腔體密封連通的抽氣裝置如抽氣泵抽出該腔體內的氣體以使該腔體內形成真空。然而，抽氣泵在運行過程中難以避免地會產生振動，該振動會因抽氣泵與顯微鏡之間的連接而被傳遞至測量裝置，從而對測量裝置的正常工作造成影響，降低其觀測精度甚至會使測量裝置無法工作。現(xiàn)有技術中通常在抽氣裝置和測量裝置之間僅簡單安裝波紋管來緩沖由抽氣裝置傳遞至測量裝置的振動，這通常會存在減振效果不佳的問題。

因此，本領域對一種減振效果較好的減振裝置存在需求。

發(fā)明內容

本發(fā)明旨在提供至少能解決上述部分技術問題的減振裝置。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種減振裝置，其連接在第一裝置和第二裝置之間以減輕從所述第一裝置傳遞至所述第二裝置的振動，所述減振裝置包括：四通管，其四端兩兩相對；四個波紋管，其分別連接至所述四通管的四端且均與所述四通管連通，所述四個波紋管兩兩相對，且所述四個波紋管中不相對的第一波紋管和第二波紋管遠離所述四通管的端部均設計為開口端，所述四個波紋管中與所述第一波紋管相對的第三波紋管和與所述第二波紋管相對的第四波紋管遠離所述四通管的端部均設計為封閉端；兩個減振支架，所述兩個減振支架中的第一減振支架被構造成一端轉動連接至所述第一波紋管的開口端且另一端無接觸地延伸經(jīng)過所述第一波紋管、所述四通管和所述第三波紋管而可相對于所述第三波紋管擺動地連接至所述第三波紋管的封閉端，所述兩個減振支架中的第二減振支架被構造成一端連接至所述第二波紋管的開口端且另一端無接觸地延伸經(jīng)過所述第二波紋管、所述四通管和所述第四波紋管而可相對于所述第四波紋管擺動地連接至所述第四波紋管的封閉端，且所述第一減振支架與所述第二減振支架之間無接觸；其中，所述第一波紋管的開口端和所述第二波紋管的開口端分別被構造成用于連接所述第一裝置和所述第二裝置，以首先經(jīng)由所述第一波紋管、所述第一減振支架和所述第三波紋管減輕從所述第一裝置傳遞至所述四通管的振動，再經(jīng)由所述第四波紋管、所述第二振動支架和所述第二波紋管減輕從所述四通管傳遞至所述第二裝置的振動。

與現(xiàn)有技術相比，本實施例中的減振裝置可將來自第一裝置的振動首先經(jīng)由第一波紋管、第一減振支架和第三波紋管進行一次衰減而傳遞至四通管，再經(jīng)由第二波紋管、第二減振支架和第四波紋管將來自四通管的振動進行二次衰減，以極大地提高其減振效果。此外，第一減振支架相對于第一波紋管轉動且相對于第三波紋管擺動、以及第二減振支架相對于第二波紋管轉動且相對于第四波紋管擺動的布置可進一步改進減振效果。

優(yōu)選地，所述第一波紋管(121)的開口端連接有第一開口法蘭(141)而保持為開口且所述第三波紋管(123)的封閉端連接有第一封板(143)而被封閉，所述第二波紋管(122)的開口端連接有第二開口法蘭(142)而保持為開口且所述第四波紋管(124)的封閉端連接有第二封板(144)而被封閉。