[發明專利]具有改進的流體流動的過濾器

在審

• 申請號: 202011224425.2
• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN112774440A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: B·L·格雷格森;C·P·巴克
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: B01D61/00
• 分類號: B01D61/00;B01D65/00
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李婷

本申請涉及一種具有改進的流體流動的過濾器，所述過濾器具有：殼體，所述殼體具有第一端面和第二端面以及內表面和外表面；被設置在管狀殼體內的膜；被密封到所述管狀殼體的第一端面以及所述膜的所述第一端面的第一端蓋；密封到所述管狀殼體的第二端面和所述膜的所述第二端面的第二端蓋；以及以螺旋圖案形成在所述殼體的所述內表面中的流體通道。所述螺旋圖案在所述殼體的軸向方向上具有小于或等于約60mm的螺距。

相關申請的交叉引用

本申請依據35USC 119要求2019年11月6日提交的第62/931,290號美國臨時專利申請的權益，其公開內容全文通過引用合并到本文。

技術領域

本發明總體上涉及一種流體處理過濾器組件。

背景技術

用于制造(例如在半導體制造中)的流體通常在分配流體之前流過多個過濾器以從流體中去除污染物。在將流體分配到系統中之前在最后過濾點使用的過濾器通常稱為使用點(POU)或分配點(POD)過濾器。過濾器通常具有整體式濾筒，所述整體式濾筒包括被籠罩包圍的多孔膜。濾筒設置在殼體中。

在過濾器的制造設備中通常存在嚴格的空間限制。需要一種具有緊湊設計的過濾器，其還提供用于過濾流體的足夠流速。允許減小過濾器的尺寸，同時增加膜的量實現具有更高流速的更小的過濾器?？梢栽诟〉倪^濾器中包括更多的膜以實現更高的流速。

發明內容

在此公開了一種過濾器，所述過濾器包含，基本上由以下各項組成，或由以下各項組成：管狀殼體，所述管狀殼體具有第一端面和第二端面以及內表面和外表面；膜，所述膜被布置在所述管狀殼體內；第一端蓋，所述第一端蓋被密封到所述管狀殼體的所述第一端面以及所述膜的所述第一端面上；密封到所述管狀殼體的所述第二端面和所述膜的所述第二端面的第二端蓋；以及流體通道，所述流體通道以螺旋圖案形成在所述管狀殼體的所述內表面中。所述螺旋圖案在所述管狀殼體的軸向方向上具有小于或等于約60mm的螺距。具有這些特征的過濾器允許減小給定過濾器的尺寸，同時還增加設置在所述過濾器中的膜的量，同時還實現提高的流速。

在一些實施例中，所述過濾器還包含，基本上由其組成，或由其組成：設置在所述管狀殼體內的芯，其中所述膜位于所述芯和所述管狀殼體之間。

在一個實施例中，一種過濾器包括具有內表面和外表面的殼體，設置在所述殼體內的膜，以及形成在所述殼體的所述內表面中的流體通道。所述流體通道具有螺旋圖案，所述螺旋圖案在所述殼體的軸向方向上具有小于或等于約60mm的螺距，所述流體通道形成在所述殼體的所述內表面的凸起部分之間。

在一個實施例中，所述螺旋圖案具有小于或等于約45度的螺旋角。

在一個實施例中，所述過濾器還包括設置在所述殼體內的芯，其中所述膜位于所述芯和所述殼體之間。

在一個實施例中，所述過濾器還包括第一端蓋，其中所述第一端蓋包括用作流體入口的第一開口和用作流體出口的第二開口。

在一個實施例中，所述第一端蓋還包括用作通氣口的第三開口。

在一個實施例中，用作所述流體入口引導所述流體進入所述流體通道。在一個實施例中，所述過濾器包括被配置成從所述入口接收流體的管和被配置成向所述流體通道提供流體的端口，并且所述管和所述端口被配置成使得所述流體在所述流體通道的底部被引入所述流體通道。在一個實施例中，所述殼體的所述外表面具有大致圓柱形形狀，并且所述管設置在從所述殼體的大致圓柱形的所述外表面向外延伸的突出部中。

在一個實施例中，所述出口被配置成允許流體通道內的所述流體離開所述過濾器。

在一個實施例中，所述入口和所述出口中的每一個具有不同的高度。