[發(fā)明專利]一種掃描電鏡的地質樣品固定裝置

有效

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• 申請日: 2020-11-05
• 公開（公告）號: CN112147167B
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設計）人: 原江燕;蘇文;陳意;胡鑫蒙
• 申請（專利權）人: 中國科學院地質與地球物理研究所
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 北京中知星原知識產權代理事務所(普通合伙) 11868
• 代理人: 艾變開

本發(fā)明涉及一種掃描電鏡的地質樣品固定裝置，所述地質樣品固定裝置包括樣品臺和樣品夾持結構；所述樣品臺的兩面分別構成樣品臺夾層和樣品臺固定層；所述樣品臺夾層設置有樣品置放結構；所述樣品置放結構設置有彈性部件；所述樣品夾持結構包括固定側和夾持側；所述固定側用于與所述樣品臺夾層固定連接，在所述固定側與所述樣品臺夾層固定連接時，所述彈性部件位于所述夾持側和所述樣品置放結構之間，所述彈性部件和所述夾持側用于固定地質樣品。本發(fā)明不僅可以保證掃描電鏡對地質樣品的掃描效果，而且可有效固定地質樣品，還可以防止固定力過大而導致地質樣品破碎。

技術領域

本發(fā)明涉及地質學領域，尤其涉及一種掃描電鏡的地質樣品固定裝置。

背景技術

掃描電子顯微鏡(SEM)是觀測物質表面形貌的基礎微束分析儀器，具有成像直觀、分辨率高、景深長、立體感強、樣品制備簡單等特點，已成為固體地球科學、行星科學等多個學科微束分析技術的重要成員，顯著提高了人們認知礦物微觀結構和組成的能力。

地質工作者在野外通常用肉眼或借助放大鏡觀察巖石，只能確定巖石中主要的礦物成分和厘米-毫米級尺度的巖石結構、構造特征，無法獲得巖石中更微觀的結構特征及成分信息。因此，通常將采集到的巖石制備成薄片，利用掃描電鏡來研究礦物成分、結構、性質、成因及共生關系等。現(xiàn)有技術中，地質薄片樣品大多不導電，需提前進行導電膜的蒸鍍，然后使用導電膠帶直接將其粘貼在樣品臺上，通過對樣品臺在X、Y、Z軸三個方向移動，改變樣品空間位置來尋找目標礦物。

由于地質樣品成因復雜，通常需要對薄片某一重點區(qū)域進行多次觀察和能譜分析。但現(xiàn)有的掃描電鏡樣品臺沒有配備定位復原裝置，一旦將地質薄片從樣品臺上卸下來，再次實驗就很難再精確復原其角度與位置，無法快速找到目標礦物及觀測區(qū)域，嚴重延緩了實驗進度。此外，當對地質薄片樣品進行拼圖時，由于導電膠帶的變形等原因容易造成脫焦現(xiàn)象，致使獲得的圖像結果不清晰。因此，設計一款地質薄片專用樣品臺，無需導電膠，并且可以實現(xiàn)薄片的精準快速復位，可顯著提高地質樣品觀測效率，保障高清圖像的穩(wěn)定輸出。

發(fā)明內容

為了解決上述技術問題或者至少部分地解決上述技術問題，本發(fā)明提供了一種掃描電鏡的地質樣品固定裝置。

本發(fā)明提供了一種掃描電鏡的地質樣品固定裝置，所述地質樣品固定裝置包括樣品臺和樣品夾持結構；所述樣品臺的兩面分別構成樣品臺夾層和樣品臺固定層；所述樣品臺夾層設置有樣品置放結構；所述樣品置放結構設置有彈性部件；所述樣品夾持結構包括固定側和夾持側；所述固定側用于與所述樣品臺夾層固定連接，在所述固定側與所述樣品臺夾層固定連接時，所述彈性部件位于所述夾持側和所述樣品置放結構之間，所述彈性部件和所述夾持側用于固定地質樣品。

可選的，所述固定側和所述夾持側構成臺階結構；所述固定側的厚度大于或等于所述地質樣品的厚度和所述彈性部件的最大彈性高度之和，并且所述固定側的厚度小于所述地質樣品的厚度和所述彈性部件的最小彈性高度之和。

可選的，所述夾持側的長度不大于5毫米；所述夾持側的厚度不大于2毫米，所述固定側的厚度不大于6毫米。

可選的，所述彈性部件為彈性銅金屬片；所述樣品臺由金屬材質構成；

所述樣品臺固定層設置電鏡固定結構，所述電鏡固定結構用于將所述地質樣品固定裝置固定于掃描電鏡上；所述電鏡固定結構包括立柱支架或者燕尾槽。

可選的，每個樣品置放結構設置有樣品定位結構和/或樣品定位標識。

可選的，所述樣品臺夾層設置有1個或多個樣品置放結構，每個樣品置放結構為方形或者圓形，每個樣品置放結構對應設置1個或2個樣品夾持結構，每個樣品置放結構設置有2個彈性部件，樣品夾持結構與對應的樣品置放結構的形狀匹配。