[發(fā)明專(zhuān)利]多層銅互連阻擋層拋光液及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011220168.5 | 申請(qǐng)日： | 2020-11-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN112322190A | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-02-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王辰偉;劉玉嶺;羅翀;周建偉;牛新環(huán);王如 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 河北工業(yè)大學(xué);天津晶嶺微電子材料有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C09G1/02 | 分類(lèi)號(hào)： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 天津市三利專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 12107 | 代理人： | 肖莉麗 |
| 地址： | 300130 天津市紅橋*** | 國(guó)省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多層 互連 阻擋 拋光 及其 制備 方法 | ||
1.一種多層銅互連阻擋層拋光液，其特征在于，按質(zhì)量百分比計(jì)由下述組分組成：硅溶膠5-20％，螯合劑0.1-5％，殺菌劑0.15-5％，表面活性劑0.001-5％，pH值調(diào)節(jié)劑，去離子水余量；所述拋光液的pH值為7.5—11；所述殺菌劑為二價(jià)銅離子。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層銅互連阻擋層拋光液，其特征在于，所述硅溶膠的粒徑為30nm—100nm,粘度為3.5-4.2，分散度為±3％。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層銅互連阻擋層拋光液，其特征在于，所述的螯合劑為甘氨酸、FA/OII型螯合劑、DTPA、硫酸銨、檸檬酸、酒石酸、乙二胺四丙酸、乙二胺四乙酸中的一種或某幾種按比例混合。
4.權(quán)利要求1所述的多層銅互連阻擋層拋光液，其特征在于：所述活性劑為FA/O表面活性劑、十二烷基二甲基氧化胺(OA)、十二烷基硫酸鈉(SDS)、十二烷基苯磺酸鈉(SDBS)、十二烷基硫酸銨(ADS)、脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)、烷基醇酞胺、脂肪銨聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚(APEO)中的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層銅互連阻擋層拋光液，其特征在于，所述pH值調(diào)節(jié)劑為硝酸鉀、硝酸、鹽酸、氫氧化鉀、四乙基氫氧化銨、四甲基氫氧化銨中的任一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層銅互連阻擋層拋光液，其特征在于，所述螯合劑為FA/OII型螯合劑或檸檬酸；所述表面活性劑為FA/O表面活性劑或FA/O表面活性劑與十二烷基二甲基氧化胺的混合液；所述殺菌劑為甘氨酸銅；所述pH值調(diào)節(jié)劑采用濃度為40％的KOH或濃度為10％的硝酸。
7.一種權(quán)利要求1所述多層銅互連阻擋層拋光液的制備方法，其特征在于，包括下述步驟：將螯合劑和表面活性劑加入適量去離子水中攪拌均勻，再邊攪拌邊加入殺菌劑，直至完全溶解，然后與硅溶膠混合，攪拌均勻，用去離子水補(bǔ)充余量，最后用pH值調(diào)節(jié)劑調(diào)節(jié)pH值至7.5—11。
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