[發(fā)明專利]一種集成電路加工用利用氣流清理雜質(zhì)的毛刺去除組件

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011219148.6
• 申請(qǐng)日: 2020-11-04
• 公開（公告）號(hào): CN112476104A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁鑫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州晗沂科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B9/00
• 分類號(hào): B24B9/00;B24B41/06;B24B55/06;B24B27/00;B24B47/10
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• 代理人: 暫無信息

1.一種集成電路加工用利用氣流清理雜質(zhì)的毛刺去除組件，包括外箱體(1)和傳動(dòng)桿(2)，其特征在于：所述外箱體(1)的內(nèi)部活動(dòng)連接有傳動(dòng)桿(2)，所述傳動(dòng)桿(2)的頂端固定連接有上傳動(dòng)齒(21)，所述傳動(dòng)桿(2)的底端固定連接有下傳動(dòng)齒(22)，所述下傳動(dòng)齒(22)的外側(cè)壁嚙合有減速齒(23)，所述減速齒(23)的外側(cè)壁嚙合有傳動(dòng)齒盤(24)，所述傳動(dòng)齒盤(24)的輸出軸固定連接有夾持環(huán)(3)；

所述夾持環(huán)(3)的外側(cè)壁固定連接有觸動(dòng)桿(31)，所述夾持環(huán)(3)的外側(cè)活動(dòng)連接有支撐環(huán)(4)，所述支撐環(huán)(4)的內(nèi)側(cè)壁固定連接有內(nèi)支撐塊(41)，所述內(nèi)支撐塊(41)的外側(cè)壁滑動(dòng)連接有擠壓塊一(42)和擠壓塊二(45)，所述擠壓塊一(42)的外側(cè)壁滑動(dòng)連接有傳動(dòng)塊一(43)，所述傳動(dòng)塊一(43)的一端固定連接有復(fù)位彈簧一(44)，所述擠壓塊二(45)的外側(cè)壁滑動(dòng)連接有傳動(dòng)塊二(46)，所述傳動(dòng)塊二(46)的一端固定連接有復(fù)位彈簧二(47)，所述擠壓塊一(42)和所述擠壓塊二(45)的外側(cè)壁固定連接有彈性球(5)，所述彈性球(5)的內(nèi)側(cè)壁固定連接有氣囊(51)，所述氣囊(51)的出氣端固定連接有氣囊通道(52)，所述氣囊通道(52)的一端固定連接有壓縮管(53)，所述壓縮管(53)的出氣端固定連接有排氣管(54)，所述排氣管(54)的一端固定連接有噴頭(55)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路加工用利用氣流清理雜質(zhì)的毛刺去除組件，其特征在于：所述外箱體(1)的內(nèi)部固定連接有旋轉(zhuǎn)軸(11)，所述旋轉(zhuǎn)軸(11)的底部活動(dòng)連接有毛刺去除頭(12)，所述旋轉(zhuǎn)軸(11)的外側(cè)壁固定連接有傳動(dòng)齒(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種集成電路加工用利用氣流清理雜質(zhì)的毛刺去除組件，其特征在于：所述上傳動(dòng)齒(21)的外側(cè)壁與所述傳動(dòng)齒(13)的外側(cè)壁相互嚙合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路加工用利用氣流清理雜質(zhì)的毛刺去除組件，其特征在于：所述減速齒(23)由三個(gè)齒輪組成，三個(gè)齒輪的直徑比均為一比二。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路加工用利用氣流清理雜質(zhì)的毛刺去除組件，其特征在于：所述彈性球(5)由金屬彈性片組成，所述彈性球(5)呈橢圓形結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路加工用利用氣流清理雜質(zhì)的毛刺去除組件，其特征在于：所述氣囊(51)共設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述氣囊(51)參照所述壓縮管(53)的中線對(duì)稱分布。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種集成電路加工用利用氣流清理雜質(zhì)的毛刺去除組件，其特征在于：所述噴頭(55)位于所述夾持環(huán)(3)的下方，且所述噴頭(55)與所述夾持環(huán)(3)相互平行。