[發(fā)明專利]一種電弧放電光源在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011217986.X | 申請(qǐng)日: | 2020-11-04 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112216595A | 公開(公告)日: | 2021-01-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐榮網(wǎng);李玉泉;劉少龍;吳志生;耿建峰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 昆山書豪儀器科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01J49/12 | 分類號(hào): | H01J49/12;H01J49/02;G01N21/67 |
| 代理公司: | 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250 | 代理人: | 李靜玉 |
| 地址: | 215343 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 電弧 放電 光源 | ||
1.一種電弧放電光源,其特征在于,包括:電源電路和激發(fā)源電路,
所述電源電路連接所述激發(fā)源電路,用于為所述激發(fā)源電路提供電能;
所述激發(fā)源電路包括高壓電路、功率電路,所述高壓電路包括高壓子回路和輔助間隙,所述高壓子回路用于根據(jù)所述電源電路提供的電能擊穿所述輔助間隙,所述高壓電路和所述功率回路作用在待測(cè)樣品上,電離分析待測(cè)樣品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧放電光源,其特征在于,所述激發(fā)源電路還包括:輔助電路,所述輔助電路用于根據(jù)所述電源電路提供的電能維持所述輔助間隙的導(dǎo)通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧放電光源,其特征在于,待測(cè)樣品設(shè)置在分析間隙中,所述高壓子電路包括:固態(tài)點(diǎn)火電路,所述固態(tài)點(diǎn)火電路的一端連接所述電源電路,用于根據(jù)所述電源電路提供的電能輸出電弧擊穿所述輔助間隙和所述分析間隙。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電弧放電光源,其特征在于,所述高壓子電路還包括:第一電容以及第一電阻,所述第一電容的一端連接所述固態(tài)點(diǎn)火電路的另一端,所述第一電容的另一端連接所述第一電阻的一端,所述第一電阻的另一端連接所述輔助間隙;
所述第一電容用于穩(wěn)定所述固態(tài)點(diǎn)火電路輸出電弧的頻率,所述第一電阻用于限制所述高壓子電路輸出的電流。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧放電光源,其特征在于,所述功率回路包括:第二電阻、第二電容、第三電阻以及電感,所述第二電阻的一端連接所述電源電路,所述第二電阻的另一端連接所述第二電容的一端,所述第二電容的另一端連接所述第三電阻的一端,所述第三電阻的另一端連接所述電感。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電弧放電光源,其特征在于,所述輔助電路包括:風(fēng)機(jī),所述風(fēng)機(jī)連接所述電源電路,所述風(fēng)機(jī)根據(jù)所述電源電路提供的電能吹向所述輔助間隙,維持所述輔助間隙的導(dǎo)通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電弧放電光源,其特征在于,所述輔助電路還包括:整流電路、第四電阻以及第三電容,所述風(fēng)機(jī)通過所述整流電路、第四電阻以及第三電容連接所述電源電路,所述整流電路的一端連接所述電源電路,所述整流電路的另一端連接所述第四電阻的一端,所述第四電阻的另一端連接所述第三電容的一端以及所述風(fēng)機(jī),所述第三電容的另一端連接所述風(fēng)機(jī)。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電弧放電光源,其特征在于,還包括:激發(fā)臺(tái),所述分析間隙設(shè)置在所述激發(fā)臺(tái)上,所述分析間隙包括盤電極和棒電極,所述棒電極的一端連接所述輔助間隙,所述激發(fā)臺(tái)包括盤電極電機(jī),所述盤電極電機(jī)連接所述電源電路,用于根據(jù)所述電源電路提供的電能帶動(dòng)所述盤電極旋轉(zhuǎn),電離分析間隙中的待測(cè)樣品。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電弧放電光源,其特征在于,所述激發(fā)臺(tái)還包括:發(fā)射感應(yīng)探頭和接收感應(yīng)探頭,所述發(fā)射感應(yīng)探頭和所述接收感應(yīng)探頭分別設(shè)置在所述分析間隙的兩端,用于檢測(cè)所述棒電極和所述盤電極是否放置、所述分析間隙的距離以及放置待測(cè)樣品的位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電弧放電光源,其特征在于,所述激發(fā)臺(tái)還包括:固定架和防護(hù)罩,所述固定架用于固定所述發(fā)射感應(yīng)探頭和所述接收感應(yīng)探頭,所述防護(hù)罩用于遮擋所述發(fā)射感應(yīng)探頭和所述接收感應(yīng)探頭。
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