[發(fā)明專利]一種OLED顯示面板及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011217415.6 | 申請(qǐng)日: | 2020-11-04 |
| 公開(公告)號(hào): | CN112420782A | 公開(公告)日: | 2021-02-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 馬倩;周星宇 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L27/32 | 分類號(hào): | H01L27/32;H01L51/52;H01L21/77 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
| 地址: | 518132 廣東省深*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 oled 顯示 面板 及其 制備 方法 | ||
1.一種OLED顯示面板,定義多個(gè)陣列排布的像素區(qū)域,每個(gè)所述像素區(qū)域中分成發(fā)光區(qū)以及非發(fā)光區(qū),其特征在于,所述OLED顯示面板包括:
襯底基板;
遮光金屬層,位于所述襯底基板上且對(duì)應(yīng)所述非發(fā)光區(qū);
彩色濾光層,位于所述襯底基板上且對(duì)應(yīng)所述發(fā)光區(qū),與所述遮光金屬層間隔設(shè)置;
TFT結(jié)構(gòu)層,位于所述遮光金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板的一側(cè);
第一透明電極層,位于所述彩色濾光層遠(yuǎn)離所述襯底基板的一側(cè),且與所述TFT結(jié)構(gòu)層的有源層同層設(shè)置;以及
像素電極層,所述像素電極層一端與所述TFT結(jié)構(gòu)層的漏極相連,另一端與所述顯示面板的有機(jī)發(fā)光層相連,其中,在所述發(fā)光區(qū),所述像素電極層與所述第一透明電極層之間形成耦合電容。
2.如權(quán)利要求1所述的OLED顯示面板,其特征在于,所述TFT結(jié)構(gòu)層還包括位于所述有源層之上的柵絕緣層、位于所述柵絕緣層之上的柵極、位于所述柵極和所述第一透明電極層之上的層間絕緣層、位于所述層間絕緣層之上的源極、位于所述源極和所述漏極之上的鈍化層、以及位于所述鈍化層之上的平坦化層,其中,在所述發(fā)光區(qū),所述像素電極層位于第一凹槽內(nèi)側(cè),所述第一凹槽貫穿所述平坦化層、所述鈍化層、以及部分所述層間絕緣層。
3.如權(quán)利要求2所述的OLED顯示面板,其特征在于,對(duì)應(yīng)所述第一凹槽內(nèi)側(cè)的所述像素電極層包括第二凹槽,所述有機(jī)發(fā)光層位于所述第二凹槽內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所述的OLED顯示面板,其特征在于,所述第一凹槽的寬度大于所述有機(jī)發(fā)光層的寬度。
5.如權(quán)利要求1所述的OLED顯示面板,其特征在于,所述第一透明電極層的材料包括導(dǎo)體化的銦鎵鋅氧化物、銦鋅錫氧化物、或銦鎵鋅錫氧化物。
6.一種OLED顯示面板的制備方法,所述OLED顯示面板定義多個(gè)陣列排布的像素區(qū)域,每個(gè)所述像素區(qū)域中分成發(fā)光區(qū)以及非發(fā)光區(qū),其特征在于,所述制備方法包括步驟:
提供一襯底基板;
在所述襯底基板上對(duì)應(yīng)所述非發(fā)光區(qū)制備遮光金屬層;
在所述襯底基板上對(duì)應(yīng)所述發(fā)光區(qū)制備彩色濾光層,所述彩色濾光層與所述遮光金屬層間隔設(shè)置;
在所述遮光金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板的一側(cè)制備TFT結(jié)構(gòu)層;
在所述彩色濾光層遠(yuǎn)離所述襯底基板的一側(cè)制備第一透明電極層,所述第一透明電極層與所述TFT結(jié)構(gòu)層的有源層同層制備;
在所述TFT結(jié)構(gòu)層和所述第一透明電極層之上制備像素電極層;以及
在所述像素電極層之上對(duì)應(yīng)所述發(fā)光區(qū)制備有機(jī)發(fā)光層,其中,所述像素電極層一端與所述TFT結(jié)構(gòu)層的漏極相連,另一端與所述有機(jī)發(fā)光層相連,在所述發(fā)光區(qū),所述像素電極層與所述第一透明電極層之間形成耦合電容。
7.如權(quán)利要求6所述的OLED顯示面板的制備方法,其特征在于,所述在所述遮光金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板的一側(cè)制備TFT結(jié)構(gòu)層的步驟包括:
在所述遮光金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板的一側(cè)制備有源層;
在所述有源層之上制備柵絕緣層;
在所述柵絕緣層之上制備柵極;
在所述柵極之上制備層間絕緣層;
在所述層間絕緣層之上制備源極和漏極;
在所述源極和所述漏極之上制備鈍化層;
在所述鈍化層之上制備平坦化層;以及
在所述發(fā)光區(qū),將所述平坦化層、所述鈍化層、以及部分所述層間絕緣層刻蝕形成第一凹槽,其中,所述發(fā)光區(qū)內(nèi)的所述像素電極層位于所述第一凹槽內(nèi)側(cè)。
8.如權(quán)利要求7所述的OLED顯示面板的制備方法,其特征在于,對(duì)應(yīng)所述第一凹槽內(nèi)側(cè)的所述像素電極形成第二凹槽,所述有機(jī)發(fā)光層位于所述第二凹槽內(nèi)。
9.如權(quán)利要求8所述的OLED顯示面板的制備方法,其特征在于,所述第一凹槽的寬度大于所述有機(jī)發(fā)光層的寬度。
10.如權(quán)利要求6所述的OLED顯示面板的制備方法,其特征在于,所述第一透明電極層的材料包括導(dǎo)體化的銦鎵鋅氧化物、銦鋅錫氧化物、或銦鎵鋅錫氧化物。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的





