[發明專利]照明裝置

在審

• 申請號: 202011214271.9
• 申請日: 2020-11-04
• 公開（公告）號: CN112788211A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 能丸圭司
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H04N5/225
• 分類號: H04N5/225;H04N5/232;H04N5/235
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

本發明提供一種照明裝置，是對比度清晰且能夠實現最佳對焦的照明裝置。照明裝置安裝在對保持在卡盤工作臺上的被加工物進行拍攝的拍攝裝置中，該照明裝置包含：光源；物鏡，在該物鏡的中央部具有細孔，該物鏡配設成與保持在該卡盤工作臺上的該被加工物對置；以及光纖，該光纖的一端插入該物鏡的該細孔中，另一端與該光源進行光耦合。

技術領域

本發明涉及安裝在拍攝裝置中的照明裝置，該拍攝裝置具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；以及拍攝單元，其對保持在該卡盤工作臺上的被加工物進行拍攝。

背景技術

由交叉的多條分割預定線劃分而在正面上形成有IC、LSI等多個器件的晶片通過切割裝置、激光加工裝置而被分割成一個個的器件芯片，分割得到的器件芯片被利用于移動電話、個人計算機等電子設備。

在切割裝置、激光加工裝置中搭載有拍攝裝置，該拍攝裝置具有對晶片進行拍攝而檢測應加工區域的自動對焦功能(例如參照專利文獻1)。

根據專利文獻1所記載的技術，一邊使拍攝裝置所具有的拍攝單元相對于被加工物(晶片)以規定的間距移動，一邊與各間距對應地拍攝被加工物的圖像，將由此得到的各圖像作為圖像信息存儲在控制單元中，求出構成與各間距對應的各圖像的拍攝區域的采樣點的微分值，將得到該微分值成為最大值的圖像的拍攝單元的位置判定為對焦位置即最佳對焦(just focus)的位置。

專利文獻1：日本特開昭61-198204號公報

以往，在構成拍攝單元的與晶片面對的透鏡的周圍配置多個光源，從外側朝向內側照射光，使拍攝區域的整個區域均勻地明亮。但是，當這樣照射光時，照射在晶片上的光發生散射而產生光的重疊，存在即使是對焦位置但對比度并不清晰而難以進行最佳對焦的問題。

發明內容

因此，本發明的目的在于提供一種對比度清晰且能夠進行最佳對焦的安裝在拍攝裝置中的照明裝置。

根據本發明，提供一種照明裝置，其安裝在對保持在卡盤工作臺上的被加工物進行拍攝的拍攝裝置中，其中，該照明裝置具有：光源；物鏡，在該物鏡的中央部具有細孔，該物鏡配設成與保持在該卡盤工作臺上的該被加工物對置；以及光纖，該光纖的一端插入該物鏡的該細孔中，另一端與該光源進行光耦合。

優選該光源從由超輻射發光二極管光源、放大自發輻射光源、超連續譜光源、發光二極管光源、鹵素光源、氙光源、水銀光源、金屬鹵化物光源以及激光光源構成的組中進行選擇。

根據本發明，插入到與被加工物對置的透鏡的中央所形成的細孔中的光纖的端部成為點光源，圓錐狀的光照射到被加工物上，在拍攝區域中不會出現光的重疊，所拍攝的圖像的對比度清晰，能夠進行最佳對焦。

附圖說明

圖1是具有拍攝裝置的激光加工裝置的整體立體圖，該拍攝裝置中安裝有本發明實施方式的照明裝置。

圖2是放大示出圖1所示的拍攝裝置的立體圖。

圖3是用于說明圖2所示的拍攝裝置的結構的局部剖視側視圖。

標號說明

1：激光加工裝置；2：基臺；4：框體；4b：水平壁部；10：晶片；12：器件；14：分割預定線；20：保持單元；25：卡盤工作臺；30：移動機構；40：激光光線照射單元；42：聚光器；50：拍攝裝置；60：拍攝單元；62：物鏡外殼；62a：連結部；621：物鏡；621a：透鏡；621b：細孔；64：相機；66：自動對焦機構；66a：脈沖電動機；70：照明裝置；72：光纖；74：光源；100：控制單元；102：微分處理部；104：自動對焦控制部。

具體實施方式

以下，參照附圖詳細說明本發明實施方式的照明裝置。