[發明專利]一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝在審
| 申請號: | 202011213499.6 | 申請日: | 2020-11-04 |
| 公開(公告)號: | CN112481702A | 公開(公告)日: | 2021-03-12 |
| 發明(設計)人: | 王海超;林中亞 | 申請(專利權)人: | 山西潞安太陽能科技有限責任公司 |
| 主分類號: | C30B33/10 | 分類號: | C30B33/10;C30B29/06;C25C1/20;C25C7/06;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司: | 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
| 地址: | 046000 山*** | 國省代碼: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 循環 利用 電解液 溶液 黑硅制絨 工藝 | ||
1.一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:包括制絨前后采用電解法在硅片的表面依次進行金屬顆粒沉積步驟和金屬顆粒離子化步驟, 所述的金屬顆粒沉積步驟和金屬顆粒離子化步驟是在同一個電解池裝置中完成的;
其中,所述的電解池裝置包括直流電源、電解液和分別與直流電源的正負極連接的金屬棒和硅片組成的陰極或陽極。
2.根據權利要求1所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:包括若干個所述的硅片通過與導線相連的硅板連接到電解池裝置中,所述的硅板水平的設置在電解液中,所述的硅片與硅板垂直相連并通過外側多孔固定槽進行固定。
3.根據權利要求1所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:在所述的金屬顆粒沉積步驟中,所述的金屬棒與電源負極相連,在所述的金屬顆粒離子化步驟中,所述的金屬棒與電源正極相連;所述的電解液的組成成分與所述的金屬棒相配合。
4.根據權利要求3所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于,所述的電解池裝置中的金屬棒為純銀棒;
所述的電解液包括以下組份:100~300mg/L的硝酸銀,1-6g/L的硝酸;
電解過程中,所述的電解液的PH值控制在4.5~6.5。
5.根據權利要求4所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:銀沉積步驟中,所提供的直流電源電壓為2~5V,電解的時間為1~5min;銀離子化步驟中,所提供的直流電源電壓為2~5V ,電解的時間為1~5min。
6.根據權利要求3所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:所述的電解池裝置中的金屬棒為純銅棒;
所述的電解液包括以下組份:200~600mg/L的硫酸銅,1-8g/L的硫酸;
電解過程中,所述的電解液的PH值控制在3~5 。
7.根據權利要求6所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:銅沉積步驟中,所提供的直流電源電壓為1.5~5V,電解的時間為1~5min;銅離子化步驟中,所提供的直流電源電壓為1.5~5V ,電解的時間為1~5min。
8.根據權利要求4或6所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:還包括放置在電解液中用于監控PH值的PH檢測儀。
9.根據權利要求1所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:所述的電解池還包括設置在底部的氮氣鼓泡機構。
10.根據權利要求1所述的一種循環利用電解液溶液的黑硅制絨工藝,其特征在于:所述的制絨為將沉積完金屬顆粒的硅片放置在氫氟酸和雙氧水的混合溶液中,之后將完成制絨的硅片進行金屬顆粒離子化步驟。
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