[發(fā)明專(zhuān)利]一種基于平面光波導(dǎo)的光柵濾波光器件在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011212538.0 | 申請(qǐng)日: | 2020-11-03 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN112230335A | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-01-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 夏翔;沈杰;李雪峰;黃惠良 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 上海鴻輝光通科技股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G02B6/12 | 分類(lèi)號(hào): | G02B6/12;G02B6/124 |
| 代理公司: | 上海灣谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31289 | 代理人: | 倪繼祖 |
| 地址: | 201822 *** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 基于 平面 波導(dǎo) 光柵 濾波 器件 | ||
1.一種基于平面光波導(dǎo)的光柵濾波光器件,其特征在于,包括平面光波導(dǎo)芯片,所述平面光波導(dǎo)芯片內(nèi)置有至少一根光波導(dǎo);
每個(gè)所述光波導(dǎo)設(shè)有用于經(jīng)紫外光照射而形成折射率周期變化的波導(dǎo)區(qū)域;
所述平面光波導(dǎo)芯片開(kāi)設(shè)有用于露出所述波導(dǎo)區(qū)域的開(kāi)窗區(qū)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于平面光波導(dǎo)的光柵濾波光器件,其特征在于,所述光波導(dǎo)為直線光波導(dǎo)、傾斜光波導(dǎo)或者彎曲光波導(dǎo)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于平面光波導(dǎo)的光柵濾波光器件,其特征在于,所述光波導(dǎo)包括摻雜了鍺的二氧化硅芯層,以及用于包裹所述二氧化硅芯層的二氧化硅包層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于平面光波導(dǎo)的光柵濾波光器件,其特征在于,紫外光通過(guò)駐波法、雙光束干涉法或相位掩膜法照射所述波導(dǎo)區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于平面光波導(dǎo)的光柵濾波光器件,其特征在于,所述光波導(dǎo)的數(shù)量為一根,所述光波導(dǎo)被紫外光照射形成多個(gè)不同周期的光柵。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于平面光波導(dǎo)的光柵濾波光器件,其特征在于,所述光波導(dǎo)的數(shù)量為多根,各所述光波導(dǎo)被紫外光照射分別形成相同周期或不同周期的光柵。
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