日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發(fā)明專利]單晶生長方法及單晶生長設(shè)備在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 202011212265.X 申請(qǐng)日: 2020-11-03
公開(公告)號(hào): CN112323141A 公開(公告)日: 2021-02-05
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 趙言;張楠;沈偉民;黃瀚藝 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
主分類號(hào): C30B15/00 分類號(hào): C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219 代理人: 余明偉
地址: 201306 上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由*** 國省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 生長 方法 設(shè)備
【權(quán)利要求書】:

1.一種單晶生長方法,其特征在于,包括:

提供單晶生長設(shè)備,所述單晶生長設(shè)備包括坩堝、用于提拉坩堝的坩堝提拉裝置、用于提拉單晶的單晶提拉裝置、導(dǎo)流筒和用于提拉導(dǎo)流筒的導(dǎo)流筒提拉裝置;

設(shè)定理論液口距,根據(jù)坩堝和單晶尺寸確定理論堝跟比后開始單晶生長;

在單晶生長過程中調(diào)整坩堝、導(dǎo)流筒和單晶中的一個(gè)或多個(gè)的位置并實(shí)時(shí)測量得到實(shí)際液口距,計(jì)算實(shí)際液口距和理論液口距的偏差值并依所述偏差值得到堝跟比變化值,依所述堝跟比變化值對(duì)所述理論堝跟比進(jìn)行調(diào)整;

依所述堝跟比變化值對(duì)所述單晶提拉裝置的拉速進(jìn)行調(diào)整,以使單晶生長過程中的晶體工藝?yán)俦3植蛔儯渲校w工藝?yán)贋閱尉鄬?duì)于液面的提升速度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶生長方法,其特征在于,對(duì)所述理論堝跟比進(jìn)行調(diào)整的方法包括調(diào)整坩堝提升速度和/或單晶提拉速度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶生長方法,其特征在于,計(jì)算實(shí)際液口距和理論液口距的偏差值后還包括對(duì)得到的偏差值進(jìn)行數(shù)據(jù)濾波的步驟,依數(shù)據(jù)濾波后的偏差值得到所述堝跟比變化值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶生長方法,其特征在于,對(duì)所述堝跟比變化值進(jìn)行數(shù)據(jù)濾波后,依數(shù)據(jù)濾波后的堝跟比變化值對(duì)所述單晶提拉裝置的拉速進(jìn)行調(diào)整。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶生長方法,其特征在于,所述堝跟比變化值為所述理論堝跟比的-5%~5%。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶生長方法,其特征在于,單晶生長過程中,液口距變化速度斜率的最大值為0.05mm/min。

7.一種控制模塊,其特征在于:包括:處理器及存儲(chǔ)器;

所述存儲(chǔ)器用于存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)程序;

所述處理器用于執(zhí)行所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)的計(jì)算機(jī)程序,以使所述控制模塊執(zhí)行如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的單晶生長方法。

8.一種存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,其特征在于,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的單晶生長方法。

9.一種單晶生長設(shè)備,其特征在于,包括:

爐體;

坩堝,設(shè)置于所述爐體內(nèi),用于承載熔融硅,單晶一端與所述熔融硅液面接觸;

坩堝提拉裝置,與所述坩堝相連接,用于對(duì)所述坩堝進(jìn)行提拉;

導(dǎo)流筒及導(dǎo)流筒提拉裝置,所述導(dǎo)流筒設(shè)置于所述爐體內(nèi),與所述導(dǎo)流筒提拉裝置連接,所述導(dǎo)流筒自所述坩堝的外側(cè)延伸到所述熔融硅的上方;

單晶提拉裝置,與所述單晶的另一端相連接,用于在單晶生長過程對(duì)單晶進(jìn)行提拉;

PLC控制器,與所述坩堝提拉裝置、導(dǎo)流筒提拉裝置及單晶提拉裝置相連接,在單晶生長過程中通過控制坩堝提拉裝置、導(dǎo)流筒提拉裝置及單晶提拉裝置的提拉速度以使單晶生長過程中的晶體工藝?yán)俦3植蛔儯渲校w工藝?yán)贋閱尉鄬?duì)于液面的提升速度。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司,未經(jīng)上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202011212265.X/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

5、已全新升級(jí)為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請(qǐng)您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊(cè)】

關(guān)于我們 尋求報(bào)道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識(shí) 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢?cè)诰€客服咨詢?cè)诰€客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 欧美激情国产一区| 一区二区在线不卡| 国产不卡三区| 5g影院天天爽入口入口| 中文丰满岳乱妇在线观看| 国产一区影院| 日韩精品中文字幕在线| 免费视频拗女稀缺一区二区| 精品一区二区超碰久久久| 国产乱人乱精一区二视频国产精品| 国产女性无套免费看网站| 精品免费久久久久久久苍| 国产精品高潮呻吟88av| 亚洲精品www久久久久久广东| 亚洲国产精品女主播| 欧美日韩一区二区高清| 国产性猛交| 韩国视频一区二区| 国产高清在线精品一区二区三区| 国产精品亚洲精品| 国产日韩精品一区二区三区| 精品国产一区二区三区国产馆杂枝| 韩国女主播一区二区| 亚洲国产一区二区精华液| 日韩欧美中文字幕一区| 久久亚洲精品国产一区最新章节| 99久久婷婷国产综合精品电影| 四虎国产精品永久在线国在线| 精品在线观看一区二区| 国产精品久久久爽爽爽麻豆色哟哟| 国产一区二区91| 国产亚洲精品久久午夜玫瑰园 | 国产偷亚洲偷欧美偷精品| 亚洲国产一二区| 一区不卡av| 精品99在线视频| 亚洲精品欧美精品日韩精品| 一区二区欧美精品| 国产免费区| 一色桃子av大全在线播放| 欧美日韩国产精品综合| free性欧美hd另类丰满| 亚洲午夜天堂吃瓜在线| 国产一区免费播放| 午夜毛片电影| 国产精品白浆视频| 九九精品久久| 精品国产免费一区二区三区| 国产精品99在线播放| 国产伦精品一区二区三区免费优势| 欧洲另类类一二三四区| 国产精品久久久视频| 小萝莉av| 亚洲精品日本无v一区| 销魂美女一区二区| 香港三日三级少妇三级99| 欧美大片一区二区三区| 蜜臀久久99静品久久久久久| 91麻豆文化传媒在线观看| 国产精品视频久久| 欧美精品一区免费| 亚洲精欧美一区二区精品| 日本精品99| 夜夜躁人人爽天天天天大学生| 国产精品一区久久人人爽| 国产不卡网站| 午夜看片在线| 亚洲高清乱码午夜电影网| 久久久久亚洲精品视频| 神马久久av| 久久久精品欧美一区二区免费| 国产性生交xxxxx免费| 亚洲欧美国产中文字幕| 欧美激情在线一区二区三区| 日韩欧美中文字幕一区| 国产精品亚洲第一区| 亚洲国产精品国自产拍久久| 国产毛片精品一区二区| 国产88av| 国产美女一区二区三区在线观看| 国产乱对白刺激在线视频| 97精品国产aⅴ7777| 99国产精品免费| 96精品国产| 狠狠色噜噜狠狠狠狠色综合久老司机| 亚洲精品国产久| 91理论片午午伦夜理片久久| 亚洲国产精品国自产拍久久| 李采潭伦理bd播放| 免费久久99精品国产婷婷六月| 福利片91| 夜夜夜夜曰天天天天拍国产| 9999国产精品| 久久久久久久亚洲视频| 国产日产精品一区二区| 91超薄丝袜肉丝一区二区| 国产精品高潮呻吟久| 国产伦精品一区二区三区照片91| 狠狠插狠狠干| 亚洲欧洲日韩| 国产视频二区在线观看| 亚洲久色影视| 欧美日韩不卡视频| 麻豆精品久久久| 日韩av在线高清| 91视频一区二区三区| 国产精品三级久久久久久电影| 国产日韩精品一区二区三区| 精品国产91久久久久久久| 肉丝肉足丝袜一区二区三区| 91精品一二区| 99re热精品视频国产免费| 欧美色综合天天久久综合精品| 色噜噜狠狠一区二区| 国产91热爆ts人妖在线| 欧美hdxxxx| 日韩中文字幕在线一区| 欧美激情精品一区| 欧美乱妇在线视频播放| 国产一级一区二区三区| 欧美777精品久久久久网| 日本一区二区在线电影| 91亚洲国产在人线播放午夜| 国产精品香蕉在线的人| 香蕉视频一区二区三区| 亚洲精品久久久久一区二区| 国产精品综合在线| 久久综合国产精品| 精品国产乱码久久久久久影片| 国产在线精品一区二区| 国产视频二区| 免费看片一区二区三区| 国产综合久久精品| 欧美一区二区三区日本| 免费超级乱淫视频播放| 一区二区三区在线观看国产| 久久精品综合| 国产1区2区视频| 97视频精品一二区ai换脸| 欧美日韩中文不卡| 国产免费区| 午夜电影一区二区三区| 欧美激情在线一区二区三区| 一区二区三区欧美视频| 国产女人好紧好爽| 国产精品免费一视频区二区三区| 69xx国产| 亚洲欧美日韩另类精品一区二区三区 | 国产精品一区在线观看| 亚洲国产精品区| 国产精品一区二区人人爽| 日韩精品免费一区二区中文字幕| 91亚洲欧美强伦三区麻豆| 亚洲va国产2019| 日本不卡精品| 国产91电影在线观看| av不卡一区二区三区| 日韩av免费网站| 香港三日三级少妇三级99| 国产乱一乱二乱三| 欧美在线播放一区| 日日夜夜亚洲精品| 国产真实一区二区三区| 中文字幕制服狠久久日韩二区| 国产精品日韩视频| 国产日韩欧美在线影视| 国产一区二区在| 香蕉视频一区二区三区| 欧美精品中文字幕亚洲专区| 国产三级国产精品国产专区50| 国产精品v亚洲精品v日韩精品| 久久国产欧美一区二区三区免费| 欧美hdxxxx| 久久精品—区二区三区| 欧美精选一区二区三区| 国产91视频一区二区| 精品国产一区二区三区忘忧草| 国产日韩欧美另类| 久久久久一区二区三区四区 | 亚洲欧美一卡| 国产大片黄在线观看私人影院| 国语对白老女人一级hd| 国产一区二区视频免费观看| 性国产日韩欧美一区二区在线| 午夜伦理片在线观看| 欧美日韩亚洲另类| 亚洲欧洲日本在线观看| 国产乱老一区视频| 女人被爽到高潮呻吟免费看 | 国产欧美一区二区精品久久| 国产91电影在线观看| 久久久久久国产精品免费| 国产人成看黄久久久久久久久| 日韩欧美精品一区二区| 国产欧美日韩综合精品一| 99爱国产精品| 99热久久这里只精品国产www | 欧美极品少妇videossex| 欧美一区免费| 欧美一区二区三区久久综合| 999偷拍精品视频| 国模精品免费看久久久| 亚欧精品在线观看| 亚洲精品久久久久一区二区 | 中文字幕欧美久久日高清| 综合久久激情| 国产精品99久久久久久宅男| 久久久久国产亚洲日本| 午夜影院你懂的| 国产理论片午午午伦夜理片2021| 丰满岳妇伦4在线观看| 激情久久综合网| 久久99久久99精品蜜柚传媒| 亚洲女人av久久天堂| 欧美一区二区三区日本| 亚洲欧美另类久久久精品2019| 国内视频一区二区三区| 亚洲欧美一区二区三区1000 | 国产精品综合一区二区| 国产精品乱码久久久久久久| 久久九精品| 97人人澡人人爽91综合色| 97精品国产aⅴ7777| 91麻豆精品国产91久久久久推荐资源| 天啦噜国产精品亚洲精品| 国产激情视频一区二区| 国产99久久久久久免费看| 偷拍精品一区二区三区| 日韩欧美国产高清91| 99日韩精品视频| 国产91丝袜在线熟| 一区二区精品在线| 综合在线一区| 欧美一级久久久| 国产特级淫片免费看| 午夜在线看片| 久久久久国产精品www| 亚洲乱码一区二区三区三上悠亚| 久久久久国产亚洲日本| 久久亚洲综合国产精品99麻豆的功能介绍 | 日韩精品一区二区不卡| 国产三级精品在线观看| 精品一区二区三区影院| 亚洲三区在线| 欧美hdxxxx| 男女视频一区二区三区|