[發明專利]硅片分級方法、系統、電子設備和計算機可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202011211355.7
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN112529357A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 閔孝成;劉成鋼;李世鑫
• 申請（專利權）人: 特勱絲軟件科技（上海）有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q50/04;G06F16/2458;B07C5/34
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本發明實施例涉及硅片制造領域，公開了一種硅片分級方法、系統、電子設備和計算機可讀存儲介質。上述硅片分級方法包括：獲取待分級硅片的質量檢測信息；根據所述質量檢測信息和用于硅片分級的基準信息，確定所述待分級硅片的質量等級。本發明實施例提供的硅片分級方法，可以在質量檢測的同時，根據質量檢測結果自動確定待分級硅片的質量等級，有效縮短硅片分級時間，消除因人工失誤導致的硅片分級錯誤，從而提高生產效率，提高硅片的出廠質量。

技術領域

本發明實施例涉及硅片制造領域，特別涉及一種硅片分級方法、系統、電子設備和計算機可讀存儲介質。

背景技術

硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導體器件，用硅片制成的半導體器件有著驚人的運算能力。隨著自動化技術和計算機技術的飛速發展，由硅片制成的產品的應用范圍越來越廣，硅片已廣泛應用于航空航天、工業、農業和國防等領域，各行各業對硅片質量的要求也日益提高，成品硅片上的任何細微差異都會影響到硅片的質量，從而影響由硅片制成的半導體器件的功能。

發明人發現相關技術中至少存在如下問題：為了便于進行生產控制，相關技術進行硅片分級時，依賴于人工判定，作業時間較長，導致硅片的生產效率較低。此外，工作人員的錯誤判斷會導致硅片被錯誤分級，如果存在質量問題的硅片出廠，會導致硅片制造商信譽下降。

發明內容

本發明實施方式的目的在于提供一種硅片分級方法、裝置、電子設備和存儲介質，可以確定每張硅片的質量等級，有效縮短硅片分級時間，消除因人工失誤導致的硅片分級錯誤，從而提高生產效率，提高硅片的出廠質量。

為解決上述技術問題，本發明的實施方式提供了一種硅片分級方法，包括以下步驟：獲取待分級硅片的質量檢測信息；根據所述質量檢測信息和用于硅片分級的基準信息，確定所述待分級硅片的質量等級。

本發明的實施方式還提供了一種硅片分級系統，包括：基準信息管理模塊，用于獲取用于硅片分級的基準信息；自動分級執行模塊，用于獲取待分級硅片的質量檢測信息，根據所述質量檢測信息和所述基準信息，確定所述待分級硅片的質量等級。

本發明的實施方式還提供了一種電子設備，包括：至少一個處理器；以及，與所述至少一個處理器通信連接的存儲器；其中，所述存儲器存儲有可被所述至少一個處理器執行的指令，所述指令被所述至少一個處理器執行，以使所述至少一個處理器能夠執行上述硅片分級方法。

本發明的實施方式還提供了一種計算機可讀存儲介質，存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執行時實現上述硅片分級方法。

本發明的實施方式，獲取待分級硅片的質量檢測信息，質量檢測信息可以詳細表示待分級硅片的實際質量檢測結果。根據質量檢測信息和用于硅片分級的基準信息，確定待分級硅片的質量等級。考慮到相關技術進行硅片分級時，待分級硅片進行完質量檢測后才能由人工進行分級，作業時間較長，導致硅片的生產效率較低，另外，工作人員的錯誤判斷會導致硅片被錯誤分級，如果存在質量問題的硅片出廠售賣，會導致硅片制造商信譽下降。而本發明的實施方式根據質量檢測信息和基準信息，確定待分級硅片的質量等級，可以在質量檢測的同時，根據質量檢測結果自動確定待分級硅片的質量等級，有效縮短硅片分級時間，消除因人工失誤導致的硅片分級錯誤，從而提高生產效率，提高硅片的出廠質量。

另外，基準信息包括若干不同類型的質量檢測對應的基準信息；獲取待分級硅片的質量檢測信息，包括：獲取待分級硅片的若干不同類型的質量檢測信息；根據質量檢測信息和用于硅片分級的基準信息，確定待分級硅片的質量等級，包括：根據若干不同類型的質量檢測信息和若干不同類型的質量檢測對應的基準信息，確定待分級硅片的質量等級。若干不同類型的質量檢測覆蓋的檢測范圍更廣，結合若干不同類型的質量檢測信息進行硅片分級，可以使硅片分級過程進一步貼近實際生產情況，使硅片分級更加準確、可靠。