[發(fā)明專利]一種防水性能好的單晶硅壓力變送器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011211330.7
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN112326095B
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李貽凡
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽安廣電氣有限公司
• 主分類號: H01L29/84
• 分類號: H01L29/84;G01L7/08;G01L9/00
• 代理公司: 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34147
• 代理人: 魏潔

1.一種防水性能好的單晶硅壓力變送器，包括與管路系統(tǒng)連接的連接座，所述連接座兩端通過法蘭與管路系統(tǒng)連接，所述連接座上安裝有連接管路且連接管路端部延伸至連接座的內(nèi)部，其特征在于：所述連接管路內(nèi)部設(shè)置有進行壓力感應(yīng)的感應(yīng)管件，所述感應(yīng)管件包括感應(yīng)管和位于感應(yīng)管內(nèi)部可升降的活塞，所述連接管路遠離連接座的端部安裝有壓力感應(yīng)室，所述壓力感應(yīng)室的內(nèi)部設(shè)置有與感應(yīng)管件連通的膜片組件；

所述膜片組件包括固定于壓力感應(yīng)室底部的膜片管，所述膜片管套設(shè)于感應(yīng)管頂端的外部，所述膜片管頂端密封設(shè)置有上彈性膜片，所述上彈性膜片頂部設(shè)置有固定于壓力感應(yīng)室內(nèi)壁上的單晶硅片，所述單晶硅片與上彈性膜片之間的間距設(shè)置為1mm；

所述連接管路包括插接于連接座上的安裝管，所述安裝管內(nèi)部與連接座內(nèi)部連通，所述安裝管由與壓力感應(yīng)室固定連接的上管和與連接座固定連接的下管組成，所述上管和下管之間通過連接法蘭可拆卸安裝，所述下管底端內(nèi)壁上固設(shè)有中部有通孔的擋板；

所述感應(yīng)管外壁與上管和下管的內(nèi)壁密封貼合，所述感應(yīng)管頂端延伸至壓力感應(yīng)室的內(nèi)部，所述感應(yīng)管底端貼合有中部設(shè)有通孔的密封膠圈，所述感應(yīng)管內(nèi)腔頂端固設(shè)有多個下彈性膜片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防水性能好的單晶硅壓力變送器，其特征在于：所述密封膠圈底部與擋板相貼合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防水性能好的單晶硅壓力變送器，其特征在于：所述膜片管、上彈性膜片、位于上方的下彈性膜片和感應(yīng)管頂端之間的空間構(gòu)成空腔，所述空腔內(nèi)部填充有密封液。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防水性能好的單晶硅壓力變送器，其特征在于：所述壓力感應(yīng)室頂部設(shè)置有顯示屏和泄壓閥。