[發明專利]一種上下結構的雙液罐半導體處理裝置用熱交換系統

在審

• 申請號: 202011209123.8
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN112325692A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 孫勁松;莫科偉
• 申請（專利權）人: 吉姆西半導體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: F28D21/00
• 分類號: F28D21/00;F22B1/28;F22B37/02;F28B1/02;F28B9/00;F28F1/12
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本發明屬于熱交換技術領域，具體的說是一種上下結構的雙液罐半導體處理裝置用熱交換系統，包括包括供液液罐、供液管、加熱液罐、加熱絲、排氣管、循環液出液管、循環液回液管、冷卻水出液管、冷卻水回液管和熱交換器；所述供液液罐通過供液管連通加熱液罐，加熱液罐通過排氣管連通供液液罐，加熱液罐內安置加熱絲，加熱絲伸入加熱液罐內部并對加熱液罐內部液體進行加熱處理，加熱液罐一側連通循環液出液管一端，加熱液罐另一側壁連通循環液出液管一端；所述循環液出液管上設有循環水泵，循環液出液管的部分管路鋪設在熱交換器內部；所述熱交換器內部還鋪設有部分冷卻水回液管的管路，且冷卻水回液管與冷卻水出液管連通。

技術領域

本發明屬于熱交換技術領域，具體的說是一種上下結構的雙液罐半導體處理裝置用熱交換系統。

背景技術

熱交換就是由于溫差而引起的兩個物體或同一物體各部分之間的熱量傳遞過程。熱交換一般通過熱傳導、熱對流和熱輻射三種方式來完成。

通常的熱交換系統多是在常溫附近的熱交換，在有高溫(例如+40℃～300℃)或低溫(例如-120℃～+5℃)需求時單液罐結構就會發生高溫蒸發和低溫冷凝現象；高溫蒸發會使循環液體過早的消耗掉，造成循環液的流失浪費，提高了作業成本，并且有液體蒸汽排放到生產空間，對生產空間環境造成影響；低溫冷凝則會使循環液從空氣中冷凝水汽，影響循環液的物理及化學特性，并且會在板式熱交換器或者盤管式熱交換器的冷面上結冰，影響熱交換器的冷熱交換效率以及熱交換器的使用壽命。

發明內容

為了彌補現有技術的不足，以解決背景技術所描述的問題，本發明提出了一種上下結構的雙液罐半導體處理裝置用熱交換系統。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：本發明所述的一種上下結構的雙液罐半導體處理裝置用熱交換系統，包括供液液罐、供液管、加熱液罐、加熱絲、排氣管、循環液出液管、循環液回液管、冷卻水出液管、冷卻水回液管和熱交換器；所述供液液罐通過供液管連通加熱液罐，加熱液罐通過排氣管連通供液液罐，加熱液罐內安置加熱絲，加熱絲伸入加熱液罐內部并對加熱液罐內部液體進行加熱處理，加熱液罐一側連通循環液出液管一端，加熱液罐另一側壁連通循環液出液管一端；所述循環液出液管上設有循環水泵，循環液出液管的部分管路鋪設在熱交換器內部；所述熱交換器內部還鋪設有部分冷卻水回液管的管路，且冷卻水回液管與冷卻水出液管連通。

優選的，所述加熱液罐內設有攪混機構；所述攪混機構用于供液液罐內部的循環液與加熱液罐內部的循環液之間的混合，且攪混機構包括主動扇、從動扇、連接桿和固定桿；所述連接桿通過多個固定桿固定加熱液罐內側壁上，連接桿鉸接在固定桿的端部，連接桿的一端位于循環液回液管的出口位置，且連接桿的一端固接主動扇，連接桿的外圈上固接多個從動扇。

優選的，所述熱交換系統還包括溫度傳感器、Y型過濾器和基于溫度傳感器檢測流量的流量計；所述溫度傳感器安置在循環液出液管，且溫度傳感器用于檢測循環液溫度的溫度；所述流量計安置在循環液回液管上，Y型過濾器安置在循環液回液管和冷卻水回液管的進水口一側，且Y型過濾器用于過濾循環液中的雜質。

優選的，所述供液液罐底面的物理位置高度高于加熱液罐的上端面的物理位置高度。

優選的，所述供液管的一端連通供液液罐內底部，供液管的另一端連通加熱液罐的內頂部。

優選的，所述排氣管的一端位于加熱液罐的頂部，排氣管的另一端位于供液液罐內部液位的上方。

優選的，所述供液液罐內設置有用于檢測液位浮球開關，且浮球開關上的浮球有若干個。

優選的，所述循環液出液管、循環液回液管、冷卻水出液管和冷卻水回液管上均設有手動閥門，且循環液回液管和冷卻水回液管上的手動閥門均位于Y型過濾器的下游位置。

優選的，所述循環液出液管上位于熱交換器內部的部分管道表面為凹凸不平的表面；所述冷卻水回液管上位于熱交換器內部的部分管道表面也為凹凸不平的表面。