[發(fā)明專利]融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)及激光加工設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011207424.7
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN112496535A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒武兵;李璟;張德安;段家露;吳飛龍
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市韻騰激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/70
• 代理公司: 深圳中細(xì)軟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44528
• 代理人: 孫凱樂

1.融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，包括：工件臺、光源、物鏡、二向色鏡、管鏡、相機(jī)和激光束發(fā)射組件；

所述工件臺用于安放被加工件；

所述光源用于為所述工件臺上的被加工件提供照明；

所述物鏡用于獲取被加工件表面反射的光束；

所述二向色鏡用于將所述物鏡上獲取的光束折射到所述管鏡內(nèi)；

所述管鏡用于將所述物鏡獲取的光束會聚到所述相機(jī)上；

所述相機(jī)經(jīng)過光電轉(zhuǎn)換和圖像處理，用于觀測被加工件表面的形貌，同時(shí)用于定標(biāo)所述工件臺以及被加工件的位置；

所述激光束發(fā)射組件用于出射激光束；

所述二向色鏡用于將所述激光束發(fā)射組件出射的激光束折轉(zhuǎn)反射到所述物鏡內(nèi)；

所述物鏡用于將所述二向色鏡折轉(zhuǎn)反射的激光束聚焦到所述工件臺上的被加工件上，實(shí)現(xiàn)激光加工。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，所述二向色鏡與所述激光束發(fā)射組件出射激光束的方向成45°夾角，所述物鏡的光軸與所述激光束發(fā)射組件出射激光束的方向成90°夾角。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，所述光源的波長為藍(lán)光。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，所述光源為環(huán)形光源，所述環(huán)形光源安裝在所述物鏡上，且所述環(huán)形光源出射光束的方向朝向所述工件臺上的被加工件。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，所述光源為面光源。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，還包括分光鏡和準(zhǔn)直鏡，所述分光鏡位于所述二向色鏡和所述管鏡之間，所述分光鏡與所述二向色鏡的厚度相同，且所述分光鏡與所述二向色鏡的表面形成90°夾角，所述面光源發(fā)射的光束經(jīng)所述準(zhǔn)直鏡準(zhǔn)直后與所述分光鏡成45°夾角射向所述分光鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，所述激光束發(fā)射組件包括激光器、擴(kuò)束鏡、貝塞爾光束發(fā)生器和中繼透鏡，所述擴(kuò)束鏡、所述貝塞爾光束發(fā)生器和所述中繼透鏡沿所述激光器發(fā)射激光束的方向依次設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器為高重復(fù)頻率、高峰值功率、窄線寬的脈沖激光器。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)，其特征在于，所述中繼透鏡為正光焦度透鏡。

10.激光加工設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任一所述的融合定標(biāo)與激光加工的系統(tǒng)。