[發明專利]一種物件的曝光定位方法

有效

• 申請號: 202011203952.5
• 申請日: 2020-11-02
• 公開（公告）號: CN112415860B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 趙濤;陳國軍;吳景舟;馬迪
• 申請（專利權）人: 江蘇迪盛智能科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州集律知識產權代理事務所(普通合伙) 32269
• 代理人: 安紀平

1.一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述方法包括：

S100，將載有多個曝光物件的物件載臺置于測量載臺上，所述物件載臺上設置有至少三個標記點；

S200，所述測量載臺測量得到每個所述標記點在測量載臺自身的第一坐標系中的第一標記點坐標，及每個所述曝光物件在所述第一坐標系中的第一物件坐標；

S300，將載有多個曝光物件的物件載臺移置曝光機載臺上，曝光機測量得到每個所述標記點在曝光機自身的第三坐標系中的第三標記點坐標；

S400，根據所述第一標記點坐標、第一物件坐標和第三標記點坐標，計算得到每個所述曝光物件在所述第三坐標系中的第三物件坐標；

S500，曝光機根據所述第三物件坐標對曝光物件進行定位及曝光。

2.根據權利要求1所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述S400中，根據所述第一標記點坐標和第一物件坐標，得到標記點和曝光物件之間的位置關系，再根據所述第三標記點坐標及所述標記點和曝光物件之間的位置關系，計算得到所述第三物件坐標。

3.根據權利要求1所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述S400中，根據所述第三標記點坐標和第一標記點坐標，得到第三坐標系和第一坐標系之間的坐標轉換關系，再根據所述第一物件坐標及所述坐標轉換關系，計算得到所述第三物件坐標。

4.根據權利要求2所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述S200和S300之間，還包括：

S600，將物件載臺上的其中一標記點作為坐標原點，建立第二坐標系,根據所述第一標記點坐標，得到每個所述標記點相對第二坐標系中的坐標原點的第二標記點坐標；根據所述第一物件坐標，得到每個曝光物件相對第二坐標系中的坐標原點的第二物件坐標。

5.根據權利要求4所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述S400中，根據所述第二標記點坐標和第二物件坐標，得到標記點和曝光物件之間的位置關系，再根據所述第三標記點坐標及所述標記點和曝光物件之間的位置關系，計算得到所述第三物件坐標。

6.根據權利要求2所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述S200和S300之間，還包括：

S600，將物件載臺上的其中一標記點作為坐標原點，建立第二坐標系,根據所述第一標記點坐標，得到每個所述標記點相對第二坐標系中的坐標原點的第二標記點坐標；根據所述第一物件坐標，得到每個曝光物件相對第二坐標系中的坐標原點的第二物件坐標。

7.根據權利要求6所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述S400中，根據所述第三標記點坐標和第二標記點坐標，得到第三坐標系和第二坐標系之間的坐標轉換關系，再根據所述第二物件坐標及所述坐標轉換關系，計算得到所述第三物件坐標。

8.根據權利要求1所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述S100中，將多個曝光物件按照一物件夾具承載于物件載臺上，且在曝光物件承載于物件載臺上之后，將物件夾具從物件載臺上撤掉。

9.根據權利要求8所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述物件夾具內具有至少一行和/或至少一列物料容納腔，每行物料容納腔和每列物料容納腔均具有至少一個物料容納腔，每個所述物料容納腔內容納一曝光物件。

10.根據權利要求1所述的一種物件的曝光定位方法，其特征在于，所述S200中，所述測量載臺經過二次元測量，測量得到所述第一標記點坐標和第一物件坐標。