[發明專利]一種硅片自動除塵裝置

在審

• 申請號: 202011202541.4
• 申請日: 2020-11-02
• 公開（公告）號: CN112452928A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 王寶根;夏媛
• 申請（專利權）人: 王寶根;夏媛
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B7/00;B08B3/02;B08B15/04;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67
• 代理公司: 杭州仁杰專利代理事務所(特殊普通合伙) 33297
• 代理人: 鄭新軍

1.一種硅片自動除塵裝置，包括工作臺，工作臺的頂面設有硅片定位區，其特征是，所述工作臺的上側設有基板，工作臺的兩側均設有滑軌，所述基板的下端兩側均固定有與滑軌滑動連接的側板，所述側板與工作臺之間設有驅動機構；所述基板的底面固定有吹氣組件，吹氣組件上連接有吹氣管，所述側板的內側面前后兩端均固定有吸氣組件，所述吸氣組件上連接吸氣管。

2.根據權利要求1所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述側板的外側面均設有過濾器，所述吹氣管與一個過濾器連接，所述的吸氣管與另一個過濾器連接。

3.根據權利要求1所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述的驅動機構包括驅動電機、齒輪、齒條，所述齒條固定在工作臺的側面且與滑軌平行分布，所述驅動電機固定在側板上，齒輪固定在驅動電機的軸端，所述的齒輪與齒條嚙合；所述齒條的兩端均設有限位塊。

4.根據權利要求1所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述基板的下側前后兩端均設有除塵輥，所述除塵輥的外側設有硅膠套，所述除塵輥兩端的連接軸通過連接組件與基板連接。

5.根據權利要求4所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述硅膠套的圓周面上延伸形成若干粘塵片。

6.根據權利要求4或5所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述連接組件包括連接桿、滑動座，所述滑動座與連接桿的下端固定，所述滑動座內設有滑槽，所述滑槽內設有滑塊，所述連接軸與滑塊轉動連接，所述滑槽內位于滑塊的上端處設有壓簧。

7.根據權利要求6所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述基板的上側設有連接板，所述連接桿的上端穿過基板與連接板固定連接，所述連接桿與基板滑動連接，所述連接板的上側設有連接支架，連接支架的兩端與基板固定連接，所述連接支架上固定有升降電機，升降電機的軸端設有穿過連接板的螺桿，所述螺桿與連接板之間螺紋連接。

8.根據權利要求7所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述工作臺上位于硅片定位區的內側設有除塵輥清理區，所述除塵輥清理區上設有兩個與除塵輥一一對應的長槽孔，所述除塵輥清理區的底部位于長槽孔的最下方設有除塵輥清理組件。

9.根據權利要求8所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述的除塵輥清理組件包括水槽、噴水嘴、熱氣噴嘴，所述水槽固定在除塵輥清理區的底部，所述噴水嘴有兩組，兩組噴水嘴一一對應固定在水槽的前后兩側，噴水嘴的開口端朝向粘塵片；所述的熱氣噴嘴有兩組，兩組熱氣噴嘴通過固定支架固定在除塵輥清理區的底部，熱氣噴嘴的開口端朝向粘塵片。

10.根據權利要求7所述的一種硅片自動除塵裝置，其特征是，所述工作臺上的硅片定位區有兩個，兩個硅片定位區分布在工作臺的兩端，所述的除塵輥清理區位于兩個硅片定位區之間。