[發(fā)明專利]一種掩模架子

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011198722.4
• 申請(qǐng)日: 2020-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN112130427A
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 華衛(wèi)群;尤春;劉維維;顧夢(mèng)星;楊東海;張?jiān)聢A;薛文卿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫中微掩模電子有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 無(wú)錫蘇元專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32471
• 代理人: 吳忠義

1.一種掩模架子，包括曝光臺(tái)(1)以及固定于所述曝光臺(tái)(1)上方的激光器組件(2)，其特征在于：所述曝光臺(tái)(1)與所述激光器組件(2)之間設(shè)有能調(diào)節(jié)且固定不同尺寸掩模的固定調(diào)節(jié)組件(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掩模架子，其特征在于：所述固定調(diào)節(jié)組件(3)包括與激光器組件(2)的連接桿連接固定的基板(4)，所述基板(4)頂面開設(shè)有相互橫縱交錯(cuò)的兩個(gè)活動(dòng)槽(5)，所述活動(dòng)槽(5)內(nèi)設(shè)有螺紋桿(6)，所述螺紋桿(6)一端固定連接有限位盤(7)，所述螺紋桿(6)另一端穿過(guò)活動(dòng)槽(5)外并固定連接有轉(zhuǎn)柄(8)，所述螺紋桿(6)外表面呈對(duì)接結(jié)構(gòu)螺紋連接有第一活動(dòng)塊(9)、第二活動(dòng)塊(10)，所述第一活動(dòng)塊(9)、第二活動(dòng)塊(10)頂端穿過(guò)活動(dòng)槽(5)外分布固定連接有第一滑塊(11)、第二滑塊(12)，所述第一滑塊(11)頂面中部設(shè)有擋板(13)，所述擋板(13)外側(cè)固定連接有伸縮桿(14)，所述伸縮桿(14)外表面卷繞有彈簧(15)，所述彈簧(15)兩端分別與擋板(13)以及第一滑塊(11)掛接配合，所述第一滑塊(11)、第二滑塊(12)頂面內(nèi)側(cè)嵌設(shè)有多個(gè)滾輪(16)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掩模架子，其特征在于：所述第一滑塊(11)、第二滑塊(12)與基板(4)活動(dòng)配合，所述限位盤(7)與活動(dòng)槽(5)轉(zhuǎn)動(dòng)配合，所述擋板(13)與第一滑塊(11)活動(dòng)配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種掩模架子，其特征在于：所述第一滑塊(11)、第二滑塊(12)呈L型結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種掩模架子，其特征在于：所述活動(dòng)槽(5)呈頂窄底寬結(jié)構(gòu)。