[發明專利]一種利用高頻微振增強薄膜潤濕性的方法及設備

在審

• 申請號: 202011197219.7
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112490373A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 楊冠軍;劉梅軍;張高;劉研;李長久
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48;H01L51/42
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 范巍

1.一種利用高頻微振增強薄膜潤濕性的方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將涂覆物質體系涂覆于太陽電池基體或薄膜表面，并采用多個振動源使太陽電池基體產生頻率為250KHz～500KHz、振幅為3nm～凹坑平均深度十分之一的振動，在太能電池基體或薄膜表面形成一層厚度≤10μm的液膜；

其中，振動源方向垂直于太陽電池基體表面，或平行于太陽電池基體表面，或二者的復合方向；

2)將太陽電池基體或薄膜表面的液膜進行干燥、退火處理，在太陽電池基體或薄膜表面形成潤濕薄膜。

2.根據權利要求1所述的利用高頻微振增強薄膜潤濕性的方法，其特征在于，步驟1中，所述涂覆物質體系為空穴傳輸層材料、鈣鈦礦光吸收層材料和電子傳輸層材料中的一種或幾種。

3.根據權利要求2所述的利用高頻微振增強薄膜潤濕性的方法，其特征在于，空穴傳輸層材料為金屬氧化物、CuI、CuI₂、導電碳漿、聚噻吩衍生物和spiro-OMeTAD中的一種或幾種。

4.根據權利要求2所述的利用高頻微振增強薄膜潤濕性的方法，其特征在于，鈣鈦礦光吸收層材料為鈣鈦礦前驅體溶膠或溶液，其中溶劑為DMF、DMSO、NMP和γ-丁內脂中的一種或幾種；溶質為ABX₃，A為烷基胺、脒類化合物和堿金屬中的一種或幾種，B為鉛和錫中的一種或兩種，X為Br、Cl和I中的一種或幾種。

5.根據權利要求2所述的利用高頻微振增強薄膜潤濕性的方法，其特征在于，電子傳輸層材料為金屬氧化物、富勒烯和富勒烯衍生物中的一種或幾種。

6.根據權利要求1所述的利用高頻微振增強薄膜潤濕性的方法，其特征在于，步驟1中，太陽電池基體或薄膜表面起伏為0.5～5μm。

7.根據權利要求1所述的利用高頻微振增強薄膜潤濕性的方法，其特征在于，步驟2中，退火處理的溫度為：＜500℃，時間為：＜200min。

8.基于權利要求1-7任意一項所述的方法的高頻微振潤濕薄膜設備，其特征在于，從上之下依次包括涂布裝置(2)、太陽電池基體(4)、基板(3)和高頻微振裝置(1)，所述涂布裝置(2)與太陽電池基體(4)之間的間距小于20倍的潤濕薄膜厚度；

所述基板(3)固定于高頻微振裝置(1)上，振動源通過基板(3)傳遞至太陽電池基體(4)。

9.根據權利要求8所述的高頻微振潤濕薄膜設備，其特征在于，涂布裝置(2)采用狹縫涂布裝置、氣刀涂布裝置、刮刀涂布裝置或噴涂裝置。

10.根據權利要求8所述的高頻微振潤濕薄膜設備，其特征在于，高頻微振裝置(1)的振動源為超聲波、電能、磁能、熱能和機械能中的任意一種。