[發明專利]一種測卷繞鍍膜機Plasma溫度的裝置及方法

在審

• 申請號: 202011196300.3
• 申請日: 2020-10-31
• 公開（公告）號: CN112111725A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 郭海濱;徐娟;鄭輝;劉河潮;楊瓊;徐彥;楊紅新
• 申請（專利權）人: 華北水利水電大學
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 王曉麗

1.一種測卷繞鍍膜機Plasma溫度的方法，其特征在于：包括以下步驟：

a.包括依次設置的放卷室、放卷輥軸、放卷導向輥、鍍膜鼓、收卷導向軸、收卷輥軸，鍍膜鼓（4）外套設有鍍膜室（13），鍍膜室（13）內均勻設置氣體擋板（14），氣體擋板將鍍膜室和鍍膜鼓之間隔成若干個鍍膜腔室，每個鍍膜腔室安裝有靶材；

b.在鍍膜腔室的兩個氣體擋板靠近鍍膜鼓的位置上設置Mask擋板（15），Mask擋板上均勻設置有熱電偶（16）；

c.熱電偶與測溫儀相連；

d.鍍膜機抽真空，待真空達到要求值，進行開靶作業；

e.設定不同的靶位功率，同時通入氬氣通過測溫儀得到不同功率下的Plasma溫度。

2.根據權利要求書所述的測卷繞鍍膜機Plasma溫度的方法，其特征在于：所述步驟b熱電偶與鍍膜鼓鍍膜面平行。

3.根據權利要求1所述的測卷繞鍍膜機Plasma溫度的方法，其特征在于：步驟a的鍍膜鼓并列設置兩個，分別為第一鍍膜鼓（4）和第二鍍膜鼓（17），兩鍍膜鼓之間設置過渡導向輪（18）。

4.根據權利要求1所述的測卷繞鍍膜機Plasma溫度的方法，其特征在于：所述熱電偶通過高溫膠粘貼在Mask擋板上。

5.根據權利要求1所述的測卷繞鍍膜機Plasma溫度的方法，其特征在于：所述熱電偶的型號為K。

6.根據權利要求1所述的測卷繞鍍膜機Plasma溫度的方法，其特征在于：步驟 e中氬氣的通往量為 Ar350sccm，其中sccm是標準毫升/分鐘。

7.一種如權利要求1-5中任一項所述的測卷繞鍍膜機Plasma溫度的方法所用的裝置，包括依次設置的放卷室、放卷輥軸、放卷導向輥、鍍膜鼓、收卷導向軸、收卷輥軸，鍍膜鼓（4）外套設有鍍膜室（13），鍍膜室（13）內均勻設置氣體擋板（14），氣體擋板將鍍膜室和鍍膜鼓之間隔成若干個鍍膜腔室，每個鍍膜腔室安裝有靶材；其特征在于：在鍍膜腔室的兩個氣體擋板靠近鍍膜鼓的位置上設置Mask擋板（15），Mask擋板上均勻設置有熱電偶（16）；熱電偶與測溫儀相連。