[發(fā)明專利]銅焊膏、銅焊膏制備方法和芯片在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011196115.4 | 申請日: | 2020-10-30 |
| 公開(公告)號: | CN112238310A | 公開(公告)日: | 2021-01-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陳顯平;吳靈美;李萬杰;錢靖;張旭 | 申請(專利權(quán))人: | 重慶平創(chuàng)半導(dǎo)體研究院有限責(zé)任公司;重慶大學(xué) |
| 主分類號: | B23K35/30 | 分類號: | B23K35/30;B23K35/40;H01L23/02;H01L23/24 |
| 代理公司: | 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 尚志峰 |
| 地址: | 402760 重慶市璧山區(qū)璧泉*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 銅焊 制備 方法 芯片 | ||
1.一種銅焊膏,其特征在于,包括如下質(zhì)量百分比的各組分:
復(fù)合銅漿料:95%至99.8%;
導(dǎo)電導(dǎo)熱碳基材料:0.2%至5%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅焊膏,其特征在于,所述復(fù)合銅漿料包括復(fù)合銅粉末和有機溶劑,所述復(fù)合銅粉末與所述有機溶劑的質(zhì)量比為6:4至8:2。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的銅焊膏,其特征在于,所述復(fù)合銅粉末包括如下質(zhì)量百分比的各組分:
納米銅顆粒:3%至25%;
亞微米銅顆粒:12%至45%;
微米銅顆粒:30%至85%;
其中,所述納米銅顆粒的粒徑為3nm至100nm,所述亞微米銅顆粒的粒徑為0.1um至1um,所述微米銅顆粒的粒徑為1um至8um。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的銅焊膏,其特征在于,所述有機溶劑包括如下質(zhì)量百分比的各組分:
分散劑:10%至30%;
粘結(jié)劑:65%至85%;
增稠劑:5%至15%。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的銅焊膏,其特征在于,所述分散劑選自聚乙烯吡咯烷酮、檸檬酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、聚丙烯酸鈉、硬脂酸、三乙基己基磷酸、甲基戊醇、聚丙烯酰胺、脂肪酸聚乙二醇酯中的一種或幾種的混合物;和/或
所述粘結(jié)劑選自異丙醇、正丁醇、乙醇、乙二醇、二乙二醇丁醚、松油醇中的一種或幾種的混合物;和/或
所述增稠劑選自聚乙烯醇、環(huán)氧樹脂、纖維素衍生物、酚醛樹脂、松香樹脂、乙基纖維素、硝化纖維素、聚異丁烯、丁醛樹脂中的一種或者幾種的混合物。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的銅焊膏,其特征在于,所述導(dǎo)電導(dǎo)熱碳基材料選自羧基化多壁碳納米管、氨基化多壁碳納米管、氟化碳納米管、氮摻雜多壁碳納米管、包鎳多壁碳納米管、氧化石墨烯、羧基化石墨烯、氨基化石墨烯、巰基化石墨烯中的一種或幾種的混合物。
7.一種銅焊膏制備方法,用于制備如權(quán)利要求1至6中任一項所述的銅焊膏,其特征在于,所述銅焊膏制備方法包括:
對銅粉末進(jìn)行混合,制備出復(fù)合銅漿料;
將導(dǎo)電導(dǎo)熱碳基材料加入到所述復(fù)合銅漿料中,制備出銅焊膏,所述銅焊膏包括如下質(zhì)量百分比的各組分:復(fù)合銅漿料:95%至99.8%;導(dǎo)電導(dǎo)熱碳基材料:0.2%至5%。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的銅焊膏制備方法,其特征在于,所述對銅粉末進(jìn)行混合,制備出復(fù)合銅漿料,具體包括:
對所述銅粉末進(jìn)行混合,得到復(fù)合銅粉末;
去除所述復(fù)合銅粉末表面的氧化物;
將所述復(fù)合銅粉末與有機溶劑按照質(zhì)量比為6:4至8:2的比例混合,制備出所述復(fù)合銅漿料。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的銅焊膏制備方法,其特征在于,所述去除所述復(fù)合銅粉末表面的氧化物,具體包括:
將所述復(fù)合銅粉末放入含有2.5wt%至5wt%的有機酸的乙醇溶液中進(jìn)行超聲處理;
對經(jīng)過所述超聲處理的所述復(fù)合銅粉末進(jìn)行離心分離、清洗和干燥。
10.一種芯片,其特征在于,包括:
芯片本體;
基板;
焊膏層,設(shè)于所述芯片本體與所述基板之間,用于將所述芯片本體連接于所述基板上;
其中,所述焊膏層包括如權(quán)利要求1至6中任一項所述的銅焊膏。
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