[發明專利]一種用于D4液體原材料的汽化裝置及方法

有效

• 申請號: 202011192522.8
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112266161B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 孫偉光;王昌軍;宋濤;謝校臻
• 申請（專利權）人: 烽火通信科技股份有限公司;武漢烽火銳拓科技有限公司
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014
• 代理公司: 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 唐勇

1.一種用于D4液體原材料的汽化裝置，其特征在于，所述汽化裝置包括沿所述D4液體流動方向依次連接的吸附所述D4液體內水分的液體供料裝置(1)、將所述D4液體霧化成霧滴的霧化器(3)、將霧化成霧滴的D4液體蒸發成D4蒸汽的蒸發器(4)以及輸送D4蒸汽并收集D4蒸汽中高沸點雜質的蒸汽管道(5)，所述霧化器(3)還連接有高純載氣裝置(2)；

所述霧化器(3)包括液相管道(31)、氣相管道(32)和霧化管道(33)，所述液相管道(31)和氣相管道(32)均與所述霧化管道(33)連通，所述液相管道(31)的入口端與所述液體供料裝置(1)連接，所述氣相管道(32)的入口端與所述高純載氣裝置(2)連接，所述霧化管道(33)出口端與所述蒸發器(4)連接，所述高純載氣裝置(2)包括沿氣體流動方向依次串聯連接的減壓閥(21)、氣體質量流量計(22)和第二啟閉閥門(23)；

所述液相管道(31)的出口端的外徑小于所述霧化管道(33)的內徑，所述液相管道(31)的出口端伸入所述霧化管道(33)內，且所述液相管道(31)的出口端與所述霧化管道(33)之間形成環形載氣通道(34)，所述氣相管道(32)與所述霧化管道(33)垂直連接，且所述氣相管道(32)與環形載氣通道(34)連通；

所述液體供料裝置(1)包括分子篩過濾器(11)，所述分子篩過濾器(11)包括分子篩吸附塔(11A)和過濾器(11B)，所述分子篩吸附塔(11A)的出口與所述過濾器(11B)的入口連接，所述分子篩吸附塔(11A)內填充有用于吸附所述D4液體水分的分子篩顆粒(11A1)；所述過濾器(11B)用于過濾D4液體中分子篩顆粒(11A1)的雜質；

所述分子篩吸附塔(11A)內還設有金屬濾網(11A2)，所述金屬濾網(11A2)用于初級過濾D4液體中分子篩顆粒的雜質；所述過濾器(11B)包括濾殼(11B2)和位于濾殼(11B2)內的精密濾芯(11B1)，所述精密濾芯(11B1)由外向內設有多層，多層所述精密濾芯(11B1)的過濾孔徑逐漸縮小，所述分子篩吸附塔(11A)和過濾器(11B)的外壁均包覆有加熱保溫裝置；

所述蒸汽管道(5)包括相互連通的蒸汽輸入管道(55)、蒸汽輸出管道(56)和雜質收集管道(57)，所述雜質收集管道(57)位于所述蒸汽輸出管道(56)的底部且呈豎直方向設置，所述雜質收集管道(57)的底部設有封閉其底部端口的堵頭(51)，所述蒸汽輸出管道(56)的出口連接有噴燈(6)，所述蒸汽輸出管道(56)上靠近噴燈(6)的位置設有第三溫度傳感器(54)；

所述蒸汽輸出管道(56)的軸線與所述雜質收集管道(57)的軸線共線，所述蒸汽輸入管道(55)與所述蒸汽輸出管道(56)或雜質收集管道(57)垂直連接，所述蒸汽輸入管道(55)、蒸汽輸出管道(56)和雜質收集管道(57)的外部包裹有加熱帶(52)和保溫層(53)。

2.如權利要求1所述的一種用于D4液體原材料的汽化裝置，其特征在于：

所述液體供料裝置(1)還包括壓力測量裝置和含水量監測裝置，所述壓力測量裝置和含水量監測裝置均位于所述分子篩過濾器(11)的上游和下游，所述分子篩過濾器(11)與所述霧化器(3)之間依次串聯設有液體質量流量計(12)和第一啟閉閥門(13)。

3.如權利要求2所述的一種用于D4液體原材料的汽化裝置，其特征在于：

所述壓力測量裝置包括設置在所述分子篩吸附塔(11A)入口側的第一壓力表(11A4)、設置在所述過濾器(11B)入口側的第二壓力表(11B3)和設置在所述過濾器(11B)出口側的第三壓力表(11B4)；

所述含水量監測裝置包括設置在所述分子篩吸附塔(11A)入口側的第一水分測量儀(11A3)和設置在所述過濾器(11B)出口側的第二水分測量儀(11B5)。