[發明專利]二氧化碳激光器用的鉬反射鏡及其制備方法

在審

• 申請號: 202011191016.7
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112462459A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 俞葉;居海波
• 申請（專利權）人: 宜興市科興合金材料有限公司
• 主分類號: G02B5/08
• 分類號: G02B5/08;G02B1/00;H01S3/08
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 馬曉敏

1.二氧化碳激光器用的鉬反射鏡的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1，將原材料鉬板熱軋成坯料，將所述坯料進行熱沖制成鉬圓片；

S2，將所述鉬圓片進行雙面粗磨和車邊，以及在所述鉬圓片的兩個表面的邊沿一周制成具有倒角的邊沿，雙面粗磨磨掉表面粗糙層并控制厚度，車邊控制直徑；

S3，對所述鉬圓片進行初步雙面研磨，進一步控制厚度，初步控制表面粗糙度，然后進行二次雙面研磨，研磨完成后進行超聲波清洗去污；

S4，然后對所述鉬圓片進行雙面拋光，拋光完成后進行超聲波清洗去污，質檢后即得到鉬反射鏡，所述鉬反射鏡的表面粗糙度≤0.015μm，所述鉬反射鏡用于二氧化碳激光器中。

2.根據權利要求1所述的二氧化碳激光器用的鉬反射鏡的制備方法，其特征在于，S1中所述熱軋的溫度為1050℃。

3.根據權利要求1所述的二氧化碳激光器用的鉬反射鏡的制備方法，其特征在于，S2中所述倒角的度數為45度。

4.根據權利要求1所述的二氧化碳激光器用的鉬反射鏡的制備方法，其特征在于，S3中在進行所述二次雙面研磨前需對所述鉬圓片進行厚度測量，控制每10片所述鉬片之間的厚度差小于等于0.002mm。

5.根據權利要求1所述的二氧化碳激光器用的鉬反射鏡的制備方法，其特征在于，S3中所述初步雙面研磨和所述二次雙面研磨的過程均是在防銹研磨液中于研磨砂為4000號的研磨機進行的，并控制所述研磨機的壓力為1200N～1600N、轉速為18rpm～22rpm、時間20min～40min。

6.根據權利要求5所述的二氧化碳激光器用的鉬反射鏡的制備方法，其特征在于，所述研磨機的壓力為1470N、轉速為20rpm、時間30min。

7.根據權利要求1所述的二氧化碳激光器用的鉬反射鏡的制備方法，其特征在于，S4中所述的過程是將所述鉬片置于拋光機的拋光布上于拋光液中進行拋光，所述拋光機的拋光輪選用304不銹鋼，控制所述拋光機的壓力為1000N～1200N、轉速為18rpm～22rpm、時間80min～100min。

8.根據權利要求7所述的二氧化碳激光器用的鉬反射鏡的制備方法，其特征在于，所述拋光機的壓力為1100N、轉速為20rpm、時間90min。

9.根據權利要求1～8任一項所述的制備方法制得的鉬反射鏡，其特征在于，所述鉬反射鏡應用于二氧化碳激光器，所述鉬反射鏡為雙面拋光型，所述鉬反射鏡的反射率≥99％、表面粗糙度≤0.015μm。