[發(fā)明專利]保護(hù)部件的形成方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011189624.4
• 申請(qǐng)日: 2020-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112786487A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齋藤良信
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

本發(fā)明提供保護(hù)部件的形成方法，在使樹(shù)脂成為液態(tài)而形成保護(hù)部件時(shí)，良好地識(shí)別樹(shù)脂已成為液態(tài)。該保護(hù)部件的形成方法在晶片的一個(gè)面上形成保護(hù)部件，其中，該保護(hù)部件的形成方法包含如下的樹(shù)脂狀態(tài)識(shí)別工序：將與該晶片的一個(gè)面接觸的熱塑性樹(shù)脂加熱，并且在載臺(tái)的樹(shù)脂載置面與晶片保持面之間傳播超聲波振動(dòng)，對(duì)夾持在該晶片保持面所保持的晶片的一個(gè)面與該樹(shù)脂載置面之間的該熱塑性樹(shù)脂是否已一體化進(jìn)行識(shí)別。在識(shí)別為已經(jīng)一體化時(shí)，將熱塑性樹(shù)脂在晶片的一個(gè)面的整個(gè)面上推開(kāi)，接著對(duì)熱塑性樹(shù)脂進(jìn)行冷卻而硬化。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及保護(hù)部件的形成方法。

背景技術(shù)

在專利文獻(xiàn)1公開(kāi)的技術(shù)中，使用樹(shù)脂在原切割晶片的一個(gè)面上形成保護(hù)部件。通過(guò)卡盤(pán)工作臺(tái)隔著該保護(hù)部件而對(duì)晶片進(jìn)行保持，對(duì)晶片的另一個(gè)面進(jìn)行磨削。由此，將晶片的起伏去除，并且將晶片的厚度均勻地整形。

保護(hù)部件的形成例如如以下那樣實(shí)施。首先，將片配置于載臺(tái)上。向片上提供液態(tài)樹(shù)脂。通過(guò)晶片的一個(gè)面將液態(tài)樹(shù)脂推開(kāi)。由此，液態(tài)樹(shù)脂在晶片的一個(gè)面的整個(gè)面上被推開(kāi)。然后，使該液態(tài)樹(shù)脂硬化。

該液態(tài)樹(shù)脂利用泵從填充有液態(tài)樹(shù)脂的容器中吸上來(lái)并提供至載臺(tái)上的片上。液態(tài)樹(shù)脂的容器較重，因此更換作業(yè)成為作業(yè)者的負(fù)擔(dān)。作為其對(duì)策，有使用固體的粒狀的樹(shù)脂的技術(shù)。

在該技術(shù)中，將粒狀的樹(shù)脂在載臺(tái)上熔化成液態(tài)，通過(guò)晶片的一個(gè)面呈板狀推開(kāi)。對(duì)該樹(shù)脂進(jìn)行冷卻而硬化。由此，能夠在晶片的一個(gè)面上形成板狀的保護(hù)部件。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2017-168565號(hào)公報(bào)

在上述的使用固體的粒狀的樹(shù)脂的保護(hù)部件的形成方法中，熔化的樹(shù)脂由載臺(tái)與晶片夾持。因此，難以判斷固體的樹(shù)脂是否熔化。由此，有時(shí)包含未徹底熔化的樹(shù)脂在內(nèi)的不充分的液態(tài)的樹(shù)脂被晶片推開(kāi)。在該情況下，難以形成均勻的厚度的保護(hù)部件，可能會(huì)浪費(fèi)粒狀的樹(shù)脂和該樹(shù)脂的液態(tài)化所花費(fèi)的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容

由此，本發(fā)明的目的在于提供保護(hù)部件的形成方法，在使固體的樹(shù)脂成為液態(tài)而形成保護(hù)部件時(shí)，能夠良好地識(shí)別樹(shù)脂已成為液態(tài)。

根據(jù)本發(fā)明，提供保護(hù)部件的形成方法，在晶片的一個(gè)面上形成保護(hù)部件，其中，該保護(hù)部件的形成方法具有如下的工序：樹(shù)脂提供工序，在載臺(tái)的樹(shù)脂載置面上配置多個(gè)粒狀的熱塑性樹(shù)脂；晶片保持工序，通過(guò)晶片保持單元的晶片保持面而對(duì)晶片的另一個(gè)面進(jìn)行保持；接觸工序，使用上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)使該晶片保持單元和該載臺(tái)在相對(duì)地接近的方向上移動(dòng)，從而使該晶片保持單元所保持的晶片的一個(gè)面與粒狀的該熱塑性樹(shù)脂接觸；樹(shù)脂狀態(tài)識(shí)別工序，將與該晶片的一個(gè)面接觸的粒狀的該熱塑性樹(shù)脂加熱，并且在該樹(shù)脂載置面與該晶片保持面之間傳播超聲波振動(dòng)，對(duì)夾持在該晶片保持面所保持的晶片的一個(gè)面與該樹(shù)脂載置面之間的該熱塑性樹(shù)脂是否已一體化進(jìn)行識(shí)別；推開(kāi)工序，通過(guò)該晶片將在該樹(shù)脂狀態(tài)識(shí)別工序中識(shí)別為已一體化的該熱塑性樹(shù)脂在該晶片的一個(gè)面的整個(gè)面上推開(kāi)；以及硬化工序，對(duì)推開(kāi)的該熱塑性樹(shù)脂進(jìn)行冷卻而硬化，該保護(hù)部件的形成方法形成對(duì)晶片的一個(gè)面的整個(gè)面進(jìn)行保護(hù)的保護(hù)部件。

在本發(fā)明的保護(hù)部件的形成方法中，在樹(shù)脂狀態(tài)識(shí)別工序中，對(duì)夾持在晶片的一個(gè)面與樹(shù)脂載置面之間的熱塑性樹(shù)脂是否充分熔化而一體化進(jìn)行識(shí)別。并且，在識(shí)別為已經(jīng)一體化時(shí)，實(shí)施推開(kāi)工序，通過(guò)晶片將熱塑性樹(shù)脂在晶片的一個(gè)面的整個(gè)面上推開(kāi)。因此，在本形成方法中，能夠抑制通過(guò)晶片對(duì)未充分熔化的熱塑性樹(shù)脂進(jìn)行按壓而推開(kāi)。另外，能夠抑制通過(guò)晶片對(duì)未充分熔化的熱塑性樹(shù)脂進(jìn)行按壓而使晶片破損。由此，能夠使形成于晶片的一個(gè)面的由熱塑性樹(shù)脂構(gòu)成的保護(hù)部件的厚度大致均勻。

附圖說(shuō)明

圖1是示出樹(shù)脂保護(hù)部件形成裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖2是示出樹(shù)脂保護(hù)部件形成裝置中的樹(shù)脂提供工序的剖視圖。

圖3是示出樹(shù)脂保護(hù)部件形成裝置中的晶片保持工序的剖視圖。