[發明專利]一種ZnO量子點摻雜的SiO2 有效
| 申請號: | 202011189254.4 | 申請日: | 2020-10-30 |
| 公開(公告)號: | CN112768533B | 公開(公告)日: | 2022-10-04 |
| 發明(設計)人: | 黃建勇;費廣濤;許少輝;張敏;倪志龍;王彪 | 申請(專利權)人: | 上海西源新能源技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/0216 | 分類號: | H01L31/0216;H01L31/0264;H01L31/0288;H01L31/18 |
| 代理公司: | 合肥和瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 34118 | 代理人: | 魏玉嬌 |
| 地址: | 201417 上海市奉賢區奉*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 zno 量子 摻雜 sio base sub | ||
1.一種ZnO量子點摻雜的SiO2下轉換減反射膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
S1、制備ZnO量子點:采用溶膠-凝膠法制備ZnO量子點;
S2、制備酸性SiO2溶膠:以正硅酸四乙酯即TEOS作為硅源、硝酸作為催化劑、無水乙醇作為溶劑,通過水解聚合反應制得酸性SiO2溶膠;
S3、摻入ZnO量子點:將ZnO量子點分散于無水乙醇中,ZnO量子點的分散濃度為0.5~3mol/L,然后將陳化3天后的酸性SiO2溶膠逐滴加到分散有ZnO量子點的無水乙醇溶液中,邊滴加邊攪拌,滴加的酸性SiO2溶膠中含有的SiO2與ZnO量子點中含有的ZnO的摩爾比為1:(2~8),攪拌5~10min,制得摻入ZnO量子點的溶膠;
S4、提拉鍍膜:用清洗好的玻璃基片在上述摻雜ZnO量子點的溶膠中進行提拉鍍膜,鍍膜時玻璃基片下降速度為50~100mm/min,玻璃基片在溶膠中的浸漬時間為60s,玻璃基片上升速度為50~100mm/min,將鍍膜玻璃基片在60℃的烘箱中烘干;
S5、高溫退火:將烘干的鍍膜玻璃基片放于管式爐中,500℃退火2~3h,然后在管式爐中自然降溫到室溫后取出,即制得ZnO量子點摻雜的SiO2下轉換減反射膜;
其中,步驟S1、S2不分先后順序。
2.根據權利要求1所述一種ZnO量子點摻雜的SiO2下轉換減反射膜的制備方法,其特征在于,步驟S1中所述ZnO量子點的制備方法如下:
稱取二水醋酸鋅即Zn(AC)2·2H2O溶于無水乙醇溶液中,30~80℃水浴攪拌30~100min,記為A溶液;
稱取氫氧化鉀溶于無水乙醇,攪拌至溶解,記為B溶液;
然后將B溶液逐滴滴加到A溶液中,其中A溶液中Zn(AC)2·2H2O和B溶液中KOH的摩爾質量比為1:1.5,30~80℃水浴攪拌30~60min,得到澄清溶液;
將正己烷與上述澄清溶液按體積比為3:1混合,靜置20min,然后離心、洗滌,得到ZnO量子點。
3.根據權利要求1所述一種ZnO量子點摻雜的SiO2下轉換減反射膜的制備方法,其特征在于,步驟S2中所述酸性SiO2溶膠的制備方法如下:
將正硅酸四乙酯即TEOS和無水乙醇混合,在室溫條件下磁力攪拌20~30min,轉速500~600r/min,配成C溶液;
將HNO3和H2O混合并攪拌2~3min,配成溶液D;
其中,溶液C和D溶液中TEOS、無水乙醇、HNO3、H2O各物質的摩爾比為1:7:0.035:4;
將D溶液緩慢滴加到C溶液中制成反應前驅溶液;
將配制好的反應前驅溶液放于60℃的恒溫水浴鍋中,并以500~600r/min的轉速進行磁力攪拌,反應2~5h,制得酸性SiO2溶膠。
4.根據權利要求1所述一種ZnO量子點摻雜的SiO2下轉換減反射膜的制備方法,其特征在于,步驟S4中所述玻璃基片的清洗步驟如下:將玻璃基片放在5wt%的氫氧化鈉溶液中浸泡20~30min,將玻璃基片擦拭干凈,再用清水或無水乙醇沖洗3-5次,然后浸泡在去離子水中超聲20min,最后置于烘箱內烘干待用。
5.一種由權利要求1-4任意一項的制備方法制得的ZnO量子點摻雜的SiO2下轉換減反射膜。
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H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





