[發明專利]芯片位置調節機構及芯片傳輸機構

有效

• 申請號: 202011188282.4
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN112289727B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 謝智寅;孔晨暉;趙寧波;李東曉;曹葵康;蔡雄飛
• 申請（專利權）人: 蘇州天準科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/677
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

1.一種芯片位置調節機構，其特征在于，包括調節機構，所述調節機構包括：

第一調節模組，所述第一調節模組包括第一調節板(331)、第二調節板(332)、第一連接件(336)和第一調節件(333)；用于放置芯片的治具固定安裝于所述第一調節板(331)上；所述第一調節板(331)與第二調節板(332)通過所述第一連接件(336)活動連接，通過所述第一調節件(333)以調節所述第一調節板(331)與第二調節板(332)在水平方向上的相對位置；

第二調節模組，所述第二調節模組包括安裝底座(334)、用于支撐與調節的調節組件；所述調節組件安裝于所述第二調節板(332)與安裝底座(334)之間；通過所述調節組件以調節所述第二調節板(332)相對于所述安裝底座(334)的姿態。

2.根據權利要求1所述的芯片位置調節機構，其特征在于，所述第二調節板(332)的側邊垂直延伸一側板(339)，所述側板(339)平行于所述第一調節板(331)的側面；所述第一連接件(336)與第一調節件(333)的兩端分別連接所述側板(339)與第一調節板(331)的側面。

3.根據權利要求2所述的芯片位置調節機構，其特征在于，所述第一調節板(331)上設有若干固定孔，當所述第一調節件(333)完成調節后，通過所述固定孔將所述第一調節板(331)與第二調節板(332)固定連接。

4.根據權利要求1所述的芯片位置調節機構，其特征在于，所述調節組件包括第二連接件與第二調節件(338)，所述第二調節件(338)與第二連接件的一端固定安裝于所述第二調節板(332)的底端，另一端活動安裝于所述安裝底座(334)的表面。

5.根據權利要求4所述的芯片位置調節機構，其特征在于，所述第二連接件包括承載鋼球(337)與若干彈性件(335)，用于承載重量的所述承載鋼球(337)固定安裝于所述安裝底座(334)上，若干所述彈性件(335)均勻分布并安裝于所述安裝底座(334)上。

6.根據權利要求4所述的芯片位置調節機構，其特征在于，所述第二調節件(338)上設有轉盤，旋轉所述轉盤調節所述第二調節板(332)與安裝底座(334)之間的距離，以端平所述第二調節板(332)相對于所述安裝基座(334)的姿態。

7.一種芯片傳輸機構，其特征在于，包括：

如權利要求1-6任一項所述的芯片位置調節機構；

第一位移模組(31)，所述第一位移模組(31)包括基座(311)、第一滑軌(315)、第一驅動組件(313)、第一滑座(312)和第一承載板(314)；所述第一滑軌(315)與第一驅動組件(313)固定安裝于所述基座(311)上；所述第一滑軌(315)與第一滑座(312)滑動連接；所述第一滑座(312)與第一承載板(314)固定連接；所述第一滑座(312)與第一承載板(314)在所述第一驅動組件(313)的驅動力下沿所述第一滑軌(315)方向往復運動；

第二位移模組(32)，所述第二位移模組(32)包括第二滑軌(320)、第二滑座(327)、第二驅動組件(329)、豎板(323)、第四滑軌(326)、第三滑座(325)和第三驅動組件(328)；所述第二滑軌(320)固定安裝于所述第一承載板(314)上，第二滑座(327)與第二滑軌(320)滑動連接，所述第二滑座(327)在所述第二驅動組件(329)的驅動力下沿所述第二滑軌(320)方向往復運動；

所述豎板(323)垂直固定安裝于所述第二滑座(327)上，所述第三驅動組件(328)與第四滑軌(326)固定安裝于所述豎板(323)的側面，所述第三滑座(325)與第四滑軌(326)滑動連接；所述第三滑座(325)在所述第三驅動組件(328)的驅動力下沿所述第二滑軌(320)的垂直方向往復運動；

芯片治具模組(34)；

所述安裝底座(334)固定安裝于所述第三滑座(325)上，所述芯片治具模組(34)固定安裝于所述第一調節板(331)的表面；所述芯片治具模組(34)在所述第一驅動組件(313)、第二驅動組件(329)和第三驅動組件(328)的驅動力下進行多方位運動。