[發(fā)明專(zhuān)利]透射電子顯微鏡樣品及其制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011187704.6
• 申請(qǐng)日: 2020-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112147373A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋箭葉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01Q30/20
• 分類(lèi)號(hào): G01Q30/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 曹廷廷

1.一種透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述透射電子顯微鏡樣品的制備方法包括：

提供一待觀測(cè)的半導(dǎo)體器件；

提取所述半導(dǎo)體器件的部分至樣品載體上，以形成初始樣品，所述初始樣品中靠近所述樣品載體的部分在第一方向上的寬度與遠(yuǎn)離所述樣品載體的部分在第一方向上的寬度相同，所述第一方向?yàn)闃悠份d體的延伸方向；

對(duì)所述初始樣品進(jìn)行減薄處理，以形成觀測(cè)樣品，所述觀測(cè)樣品中靠近所述樣品載體的部分在第一方向上的寬度大于遠(yuǎn)離所述樣品載體的部分在第一方向上的寬度。

2.如權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述觀測(cè)樣品包括堆疊的第一樣品部和第二樣品部，所述第一樣品部較所述第一樣品部靠近所述樣品載體，并且所述第一樣品部在所述第一方向上的寬度大于所述第二樣品部在所述第一方向上的寬度；其中，所述第一樣品部和所述第二樣品部在第二方向上的截面均呈矩形，所述第二方向?yàn)闃悠份d體的垂直方向，所述第二方向與所述第一方向垂直。

3.如權(quán)利要求2所述的透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，對(duì)所述初始樣品進(jìn)行減薄處理的方法包括：

對(duì)所述初始樣品進(jìn)行第一減薄處理，使所述初始樣品中遠(yuǎn)離所述樣品載體的部分在所述第一方向上的寬度減小至第一寬度；以及，

對(duì)第一減薄處理后的所述初始樣品進(jìn)行第二減薄處理，使所述初始樣品中遠(yuǎn)離所述樣品載體的部分在所述第一方向上的寬度從所述第一寬度減小至第二寬度，以形成所述第一樣品部和所述第二樣品部，所述第二樣品部暴露出所述第一樣品部中靠近所述第二樣品部的部分表面；其中，所述第一樣品部在所述第一方向上的寬度為所述初始樣品在所述第一方向上的寬度，所述第二樣品部在所述第一方向上的寬度為所述第二寬度。

4.如權(quán)利要求3所述的透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述初始樣品在所述第一方向上的寬度為200nm～300nm，所述第二寬度為50nm～80nm。

5.如權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述觀測(cè)樣品包括依次堆疊的第一樣品部、第二樣品部和第三樣品部，所述第一樣品部較所述第二樣品部和所述第三樣品部靠近所述樣品載體，并且所述第一樣品部、所述第二樣品部和所述第三樣品部在所述第一方向上的寬度依次減小；其中，所述第一樣品部和所述第三樣品部在第二方向上的截面均呈一矩形，所述第二樣品部在第二方向上的截面呈一矩形或者一梯形，所述第二方向?yàn)闃悠份d體的垂直方向，所述第二方向與所述第一方向垂直。

6.如權(quán)利要求5所述的透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，對(duì)所述初始樣品進(jìn)行減薄處理的方法包括：

對(duì)所述初始樣品進(jìn)行第一減薄處理，使所述初始樣品中遠(yuǎn)離所述樣品載體的部分在所述第一方向上的寬度減小至第一寬度，以形成第一樣品部和過(guò)渡部，所述過(guò)渡部暴露出所述第一樣品部中靠近所述過(guò)渡部的部分表面；

對(duì)第一減薄處理后的所述初始樣品進(jìn)行第二減薄處理，使所述過(guò)渡部中遠(yuǎn)離所述第一樣品部的部分在所述第一方向上的寬度減小至第二寬度，以形成所述第二樣品部和所述第三樣品部，所述第三樣品部暴露出所述第二樣品部中靠近所述第三樣品部的部分表面；其中，所述第一樣品部在第一方向上的寬度為所述初始樣品在所述第一方向上的寬度，所述第二樣品部在所述第一方向上的寬度為所述第一寬度，所述第三樣品部在所述第一方向上的寬度為所述第二寬度。

7.如權(quán)利要求6所述的透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，所述初始樣品在所述第一方向上的寬度為200nm～300nm，所述第一寬度為100nm～150nm，所述第二寬度為50nm～80nm。

8.如權(quán)利要求3或6所述的透射電子顯微鏡樣品的制備方法，其特征在于，沿所述初始樣品的一側(cè)面或兩側(cè)面，通過(guò)第一聚焦離子束和/或第二聚焦離子束，對(duì)所述初始樣品進(jìn)行第一減薄處理；

和/或，沿所述初始樣品的一側(cè)面或兩側(cè)面，通過(guò)所述第二聚焦離子束，對(duì)所述初始樣品進(jìn)行第二減薄處理；其中，所述第一聚焦離子束的電流為100pA～300pA，所述第二聚焦離子束的電流為30pa～50pa。