[發明專利]一種硅片打毛液

有效

• 申請號: 202011181034.7
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112280558B
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發明（設計）人: 馮凱;王書萍;賀兆波;郝曉斌;張庭;徐子豪;尹印;萬楊陽
• 申請（專利權）人: 湖北興福電子材料有限公司
• 主分類號: C09K13/08
• 分類號: C09K13/08;H01L21/331
• 代理公司: 宜昌市三峽專利事務所 42103
• 代理人: 成鋼

1.一種硅片打毛液，其特征在于，打毛液為電子級產品，其主要成分包含占打毛液質量百分比50-75%的無機酸、2%-8%的氧化劑、0.5-5%含氟化合物、0.1-8%的緩沖劑、0.8-2%長鏈有機物、余量為水，所述的長鏈有機物為聚丙烯酸、聚甲基丙烯酸、聚乙烯醇硫酸酯、或聚二磷酸基硅氧烷，其中，聚丙烯酸、聚甲基丙烯酸、聚乙烯醇硫酸酯的端基為甲基，聚二磷酸基硅氧烷的端基為三甲基硅基；聚丙烯酸的聚合度為40-70、聚甲基丙烯酸的聚合度為40-50、聚乙烯醇硫酸酯的聚合度為70-80、或聚二磷酸基硅氧烷的聚合度為40-45；

所述的緩沖劑為磷酸、多聚磷酸銨水溶液、順丁烯二酸水溶液中的一種或幾種的組合物。

2.根據權利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于，所述的無機酸為硫酸、鹽酸、高氯酸、氫溴酸、氫碘酸、硒酸中的一種或幾種的組合物。

3.根據權利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于，所述的氧化劑為硝酸、雙氧水、碘酸、高氯酸、重鉻酸中的一種或幾種的組合物。

4.根據權利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于，所述的含氟化合物為氫氟酸、氟化銨、氟化氫銨、氟硼酸中的一種或幾種的組合物。

5.根據權利要求1所述的硅片打毛液，其特征在于，所述的水為25℃下電阻率15-18MΩ*cm的超純水。

6.根據權利要求1-5任一項所述的硅片打毛液，其特征在于：配置方法包括以下步驟：

（1）在氧化劑中加入無機酸，混合均勻，冷卻至40℃以下；

（2）將含氟化合物加入步驟（1）的混酸中，混合均勻，備用；

（3）將長鏈有機物加入到緩沖劑中混合均勻，然后將混合后的溶液緩慢加入到步驟（2）的混酸中，混合均勻。