[發明專利]蒸鍍裝置和顯示裝置的制造方法

在審

• 申請號: 202011180807.X
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112779499A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 上村孝明;平田教行;水越寬文
• 申請（專利權）人: 株式會社日本顯示器
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54;H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 邸萬杰;徐飛躍

1.一種顯示裝置的制造方法，使用蒸鍍掩模來向基板蒸鍍有機材料，該顯示裝置的制造方法的特征在于：

與所述基板相對地配置所述蒸鍍掩模，

檢測第一位置的所述基板與所述蒸鍍掩模之間的第一間隙(l₁)，

檢測第二位置的所述基板與所述蒸鍍掩模之間的第二間隙(l₂)，

將所述第一間隙(l₁)和所述第二間隙(l₂)調節為滿足式3，

其中，L₁₂為所述第一位置與所述第二位置之間的距離。

2.如權利要求1所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

滿足式4，

3.如權利要求1或2所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

還檢測第三位置的所述基板與所述蒸鍍掩模之間的第三間隙(l₃)，

將所述第一間隙(l₁)和所述第三間隙(l₃)調節為滿足式5，

其中，L₁₃為所述第一位置與所述第三位置之間的距離。

4.如權利要求3所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

滿足式6，

5.如權利要求1所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

所述基板和所述蒸鍍掩模以彼此相對的面朝向與鉛垂方向交叉的方向的方式配置，

在所述鉛垂方向上，所述第一位置位于所述第二位置的上方。

6.如權利要求1所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

所述第一位置和所述第二位置各自為所述基板的四角附近的任一角附近。

7.如權利要求1所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

所述第一間隙(l₁)和所述第二間隙(l₂)各自同步地進行調節。

8.一種顯示裝置的制造方法，其使用蒸鍍掩模來向基板蒸鍍有機材料，該顯示裝置的制造方法的特征在于：

與所述基板相對地配置所述蒸鍍掩模，

將所述基板和所述蒸鍍掩模以彼此相對的面朝向與鉛垂方向交叉的方向的方式配置，

檢測第一位置的所述基板與所述蒸鍍掩模之間的第一間隙，

檢測第二位置的所述基板與所述蒸鍍掩模之間的第二間隙，

同時調節所述第一位置和所述第二位置，使得所述第一間隙與所述第二間隙之差變小。

9.如權利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

具有包含所述第一位置和所述第二位置的n個檢測位置，檢測從所述第一位置到第n位置的所述基板與所述蒸鍍掩模的各間隙，

同時調節所述第一位置至所述第n位置，使得所述各間隙中的最大值與最小值之差變小，

其中，n為3以上的自然數。

10.如權利要求9所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

所述第一位置至所述第n位置設置在所述基板的端部附近。

11.如權利要求10所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于：

所述基板為矩形，所述第一位置至所述第n位置的全部或一部分設置在所述基板的四角。